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ASML CEO直言：全球需要中國成熟晶片，Hyper NA EUV正在研發
Christophe Fouquet這位土生土長的法國人自四月底以來一直擔任歐洲最有價值的科技集團ASML的負責人，只有荷蘭公司提供了可以生產世界上最先進半導體的技術。換而言之，沒有ASML，就沒有AI晶片。這就是現狀。
與此同時，這位 50 歲的人承擔了一項高度政治性的工作：美國正在推動晶片行業對中國實施更廣泛的出口限制。美國政府希望禁止更多晶片製造裝置運往該國。
到目前為止，制裁隻影響使用昂貴的特殊晶片的機器。富凱對此進行了辯護。福凱在接受採訪時表示，西方急需的晶片正在中國生產。“阻止某人生產你需要的東西是沒有意義的。”
Q Fouquet先生，ASML被禁止向中國出售採用EUV技術的系統，而現在由於無法獲得出口許可證，連更簡單的系統訂單也不被允許。您覺得自己是中美晶片大戰的受害者嗎？
Christophe Fouquet：從積極的角度來看，這表明我們很重要。這也證明了整個行業的相關性。這是一個訊號，表明歐洲可以在一個重要行業中發揮重要作用。有時歐洲感覺很小，或者至少與美國和中國相比更小。但 ASML 及其供應商（例如蔡司和通快）擁有對全世界至關重要的 EUV 知識。除了我們之外沒有人能做到這一點。
Q EUV是一種將半導體暴露在極紫外光下的系統。為什麼你如此確信沒有人可以模仿這一點？畢竟，中國正在向晶片行業投入數十億美元。
Christophe Fouquet：EUV 技術非常複雜。將其整合為一個系統是極其困難的。我們的知識非常豐富，整個生態系統都在這裡。
Q 連中國人都做不到嗎？
Christophe Fouquet：這對中國來說真的非常非常困難。因為他們沒有歐洲的專業知識。
Q 您是否害怕更深遠的出口管制？
Christophe Fouquet：我們都在尋找用於人工智慧、智慧型手機和伺服器的最強大、最先進的半導體。但汽車行業，尤其是德國汽車行業，需要更多使用更簡單、眾所周知的技術製造的晶片。對這些元件的需求正在急劇增加。但生產它們並不是特別有利可圖。因此，西方對此類作品的投資很少。歐洲甚至無法滿足其一半的需求。因此，我們需要從其他地方獲得這種晶片，而目前正在中國建造這種晶片的工廠。
Q 所以你說進一步限制你們的機器向中國出口是不明智的。
Christophe Fouquet：個別國家可能會說，“我們不喜歡中國在晶片方面所做的事情。”然後我們建議政府建立自己的工廠。因為不可能讓中國的生產變得更加困難，而不自己創造替代方案。
Q 中國距離先進晶片還有多遠？
Christophe Fouquet：如果你看看今天的先進晶片，我認為眾所周知，中國很可能落後美國十年。英特爾-老闆帕特·基辛格（Pat Gelsinger）公開表示得很清楚。因此，中國在不太現代的晶片技術方面最為活躍。
Q 這就是西方迫切需要的晶片？
Christophe Fouquet：正確的。如果有人想放慢速度——無論出於什麼原因——他們就需要替代方案。阻止某人生產你需要的東西是沒有意義的。當談到俄羅斯天然氣時，人們明白必須找到替代品，但當談到晶片時，還沒有找到替代品。
Q 你們的 EUV 機器每台成本超過1.5億歐元。在後續一代 High-NA 中甚至有 3 億。系統價格會不會很快達到台積電等大型晶片製造商無法承受的程度？
Christophe Fouquet：沒錯，我們的機器已經變得越來越貴了。但只要它們對我們的客戶有意義，這並不重要。有報導指出，由於成本太高，High-NA 並未被使用。但事實並非如此。而且，我們永遠不會建造成本高於附加值的設施。
Q 然而，價格還是驚人的。
Christophe Fouquet：當然，我們談論的是大數字。任何開出 4 億歐元支票的人都必須能夠信賴我們的質量。我們的客戶不怕花更多錢。但這對他們來說一定是值得的。我們必須遵守這條規則，直到末日。
Q 直到去年，他們甚至還沒有幾個購買昂貴的 EUV 機器的客戶。由於人工智慧的蓬勃發展，這種情況正在發生變化，不是嗎？
Christophe Fouquet：是的，因為人工智慧需要高性能晶片。每當需要更先進的晶片時，也需要更先進的系統。現在記憶體晶片製造商也在向我們採購。但這並不是說我們只是跟隨市場。
Q 你這樣說是什麼意思？
Christophe Fouquet：當沒有人知道人工智慧會變得多麼強大時，我們開發了 EUV 及其後續技術，即 High-NA 和 Hyper-NA。我們這樣做是因為我們認為：當我們將這項技術推向市場時，就會有人足夠聰明來使用它。
Q 您認為系統的昂貴和複雜程度會受到限制嗎？
Christophe Fouquet：EUV 投入量產花了二十多年和數十億美元。好消息是這項技術可以在未來 20 年內得到擴展。
Q 你指的是 High-NA 和 Hyper-NA 的後續技術嗎？
Christophe Fouquet：Hyper-NA 設施與 High-NA 設施非常相似。系統 90%、甚至 95% 的部分將完全相同。我們必須改變的是光學器件，即鏡子。因此，系統不會變得更加複雜。同時，我們可能會在未來十年內，甚至六七年內將系統的生產力提高一倍。當然，這也會提高價格。
Q 在你的前任Peter Wennink任職期間，股價從50歐元上漲至900歐元，銷售額和利潤成倍增長。這會讓你有很大壓力嗎？
Christophe Fouquet：我並不擔心這一點，除此之外，我還看到了非常好的增長機會，未來五年半導體市場將翻倍...
Q 一些分析師甚至預計會有更大的優勢...
Christophe Fouquet：沒錯，可能會更多，具體取決於人工智慧如何起飛。只要我們在這個行業中保持重要地位，我們就會與它一起成長。
Q 您具體看到了那些潛力？
Christophe Fouquet：我們每隔幾年就會提供有關我們目標的資訊。2022年我們曾表示，希望在2025年實現銷售額300億至400億歐元。我們預計到 2030 年，這一數字將達到 440億 至 600 億。範圍之所以如此之大，是因為在如此長的一段時間內它是如此不確定。但無論如何，它比今天要多得多。
Q 未來技術 Hyper-NA 在您的發展計畫中扮演什麼角色？
Christophe Fouquet：我們總是展望未來 10 年或 15 年，並問自己這個行業可能需要什麼。我們對某些事情是確定的。例如，我們知道該行業需要 EUV。否則就很難縮小電晶體的尺寸。
Q 電晶體是晶片的核心；現代半導體上的電晶體數量多達 1000 億個。
Christophe Fouquet：是的，我們知道高數值孔徑對於邏輯晶片和 DRAM 儲存晶片在未來兩三年內邁出下一步至關重要。
Q Hyper-NA 是下一步嗎？
Christophe Fouquet：如果我們進一步展望未來，我們可以看到該行業需要更大的功率、更高的密度，即儘可能多的電晶體，但又不會增加太多成本。因為更多電晶體的價值必須始終超過額外成本。因此，我們相信，需要 Hyper-NA 只是時間問題。但我們談論的是下一個十年。
Q 具體來說，第一個系統什麼時候可以啟動並運行？
Christophe Fouquet：當我們的客戶需要時，我們一定會準備好將 Hyper-NA 推向市場。那可能是 2032 年或 2035 年。我們將在未來三四年內討論這個問題。問題更多的是何時發生，而不是是否會發生。
寫在最後
其實在這篇採訪後的一個多月裡，關於High NA EUV光刻機有了很多進展宣佈。
例如有消息指出，三星電子將引進其首個High-NA 0.55 EUV 光刻工具，從而實現半導體製造技術的重大飛躍。該公司計畫在 2024 年第四季度至 2025 年第一季度期間在其華城園區安裝 ASML Twinscan EXE:5000 系統，這標誌著其在開發用於邏輯和 DRAM 生產的下一代工藝技術方面邁出了關鍵一步。此舉使三星在採用 High-NA EUV 技術方面落後於英特爾一年，但領先於競爭對手台積電和 SK 海力士。該系統預計將於 2025 年中期投入使用，主要用於研發目的。
而據韓媒 ZDNet Korea 報導，SK 海力士 EUV 材料技術人員當地時間本月 12 日出席技術會議時向媒體表示，該企業計畫於 2026 年首次匯入 ASML 的 High NA EUV 光刻機。
SK 海力士的一位工程師表示該公司新近成立了一個 High NA EUV 研發團隊，正致力於將 High NA EUV 光刻技術應用到最先進 DRAM 記憶體的生產上。
由此可見，ASML的EUV光刻機，依然大有可為。 (半導體行業觀察)