中國晶片裝置新勢力：新凱來的崛起！

中國晶片製造商近年來一直在逐步將部分生產轉向國產裝置，以支援本土晶圓廠裝置生態系統，並減少對海外生產裝置的依賴。2024年，中國幾家知名的晶片製造工具製造商創下了銷售記錄。然而，一家公司——SiCarrier Technologies新凱來——在最近的SEMICON China展會上首次亮相，引發了廣泛關注。

據《日經新聞》報導，新凱來與某公司關係密切，四年前在深圳成立，旨在開發世界級的晶圓廠裝置，與市場領導者ASML、應用材料（Applied Materials）、KLA和Lam Research等生產的前端晶片生產裝置競爭。SiCarrier的主要投資者是深圳政府支援的基金，這只基金也支援其他晶片企業，包括鵬芯微昇維旭科技。

SiCarrier目前在上海、北京、西安、武漢、成都、杭州及海外設有研發中心，其端到端開發鏈涵蓋材料、元件和完整系統。為了支援快速發展，該公司積極從ASML和應用材料等全球頂級公司招聘高級工程師。在SEMICON China展會上，SiCarrier展示的產品目錄包括廣泛的半導體製造裝置、計量工具和檢測系統。儘管未包括光刻裝置（可能是為了保密其光刻技術的進步），但《日經新聞》報導稱，該公司已經擁有能夠以28奈米工藝技術加工300毫米晶圓的光刻裝置。即使沒有光刻機，該公司也列出了數十種裝置，可以執行前端半導體生產流程中的絕大多數步驟，包括測量、檢驗和測試工具。

在工藝方面，SiCarrier涵蓋了用於電介質和金屬柵極的原子層沉積（ALD）、化學氣相沉積（CVD）、物理氣相沉積（PVD）、外延、蝕刻和退火的裝置。這些裝置適用於先進工藝節點和未來先進節點。在計量和檢測方面，目錄包括用於圖案和非圖案晶圓的光學檢查工具、用於奈米級解析度形態檢查的原子力顯微鏡，以及用於薄膜厚度、元素組成和結晶度的先進測量系統。此外，SiCarrier還擁有各種測試裝置，包括晶圓電性能測試、已知優良晶片測試和功能測試，儘管這些裝置目前主要針對功率半導體。

儘管SiCarrier展示了廣泛的產品線，但目前尚不清楚是否可以訂購和獲得目錄中列出的所有裝置，也不清楚這些機器是否與現有的生產流程相容，這些流程依賴於ASML、Applied Materials、KLA、Lam Research、TEL等公司的裝置。

SiCarrier的崛起標誌著中國在晶片製造裝置領域的雄心壯志，顯示出中國在全球半導體產業中逐漸增強的競爭力。隨著技術的不斷進步和市場的逐步擴大，中國晶片製造裝置行業有望在全球市場中佔據更重要的地位。 (晶片行業)