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半導體裝置製造商新凱來(SiCarrier),在上海舉行的SEMICON China展會上,首次公開展示其最新晶片製造裝置,傳出部分裝置可支援生產5奈米製程,其中一個產品還取名為阿里山。因新凱來並未展示實體裝置,只有模型,遭外媒質疑何時可以投入生產。
綜合《Tom'shardware》及《南華早報》報導,新凱來獲政府支援,專注晶片製造,曝光、化學氣相沉積、測量、物理氣相沉積、蝕刻和原子層沉積硬體也在研發中,希望打造出中國版ASML。
新凱來成立只有4年,在SEMICON China展會上,新凱來受到極大矚目,現場卻沒有展出實機,僅在各個展示螢幕中說明發展路線與技術,以及號稱是新開發產品的模型。
在會展攤位上,新凱來秀出5款以名山命名的產品,被中國網友稱為「名山軍團」,這些產品包括外延沉積(EPI) 峨眉山、蝕刻 (ETCH) 武夷山、化學氣相沉積 (CVD)長白山、物理氣相沉積 (PVD) 普陀山、原子層沉積 (ALD) 阿里山。