上海EUV光刻技術重大突破!阿斯麥爾垂死蹦跶?!

中國人為什麼要"弒神"!因為“沒有光刻機,中國晶片永世為奴!”十年前,阿斯麥總裁翹著二郎腿,對著鏡頭如此冷笑。

美國Cymer公司更是囂張,“我們的二氧化碳雷射技術,中國人連圖紙都看不懂!”

西方媒體跟著集體高潮,《福布斯》陰陽怪氣,“中國人的3nm晶片?那不是PPT神話嗎!”

過去這被掐住喉嚨的十年,是中國半導體最冷的寒冬。

"卡脖子?那就把手指一根根掰斷!"上海光機所實驗室裡,林楠摔碎ASML的技術白皮書。三年!整整三年!團隊人均瘦了15斤,實驗日誌堆到天花板。

2025年4月,一束固體雷射自上海光機所轟然射出,直接轟穿ASML的霸權鐵幕!!光刻機三大命門:光源、光學系統、雙工件台,中國已然補上了最後一塊拼圖!

阿斯麥的EUV光刻機之所以能壟斷全球,核心在於其採用的二氧化碳雷射驅動光源技術,這項技術長期被美國Cymer公司獨佔。

而上海光機所林楠團隊另闢蹊徑,選擇固體脈衝雷射器路線,用固體雷射“掀翻”Cymer王座。

簡單來說,這次重大突破有2個特點:

1.繞過專利封鎖:固體雷射器體積更小、能耗更低,僅為ASML方案的1/3,且電光轉換效率潛力更大。

2.突破能量瓶頸:實驗光源轉換效率達3.42%,團隊預測理論極限可逼近6%,而這正是Cymer商用光源的核心競爭力。

“阿斯麥有的,我們全有!阿斯麥沒有的,我們正在造!”連中芯老工程師都不禁握緊雙全發出怒吼。

當林楠甩出一沓論文,登上《中國雷射》封面的那一刻,阿斯麥這次真的嚇瘋了! 總裁連夜打越洋電話,聲音發抖:“快查!中國人是不是偷了技術?” 另一邊,全球客戶收到緊急郵件:“舊EUV換新款,打五折!不,三折!”

呵呵,平均34.5歲的中國光刻機研發工程師笑了!

國產EUV光刻機即將橫空出世:前期售價即可壓到1.2億!阿斯麥每年3000萬美元的維護服務費?全部不用!

而且每一位我們的朋友,都將收到一枚0.1nm精度的晶圓,上面刻著微縮版一句中國古詩詞:“劍氣縱衡三萬裡,一劍光寒十九洲”!

中國半導體,殺穿黑暗,終見曙光! (十分見談)


劍氣縱衡三萬裡,一劍光寒十九洲 !
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