編者按:
2025年3月,上海國際半導體展的鎂光燈下,一家中國企業的展台被圍得水洩不通。展台上,一台標註著“中國首台全自主28nm DUV光刻機”的裝置正在運行,玻璃罩內,雷射束精準地切割著矽片,如同在雕刻一塊微縮版的中國地圖。這家名為“新凱來”的企業,四年前還只是華為內部一個不足百人的研發部門。而此刻,它帶著31款裝置向ASML、應用材料等國際巨頭髮起正面挑戰。全球半導體產業的地殼運動,正在這家企業的展台上悄然發生。
2021年的華為,正處於“至暗時刻”。美國商務部的一紙禁令,讓這家中國科技巨頭的全球供應鏈驟然斷裂。時任華為輪值董事長的徐直軍在一次內部會議上說:“我們要用三年時間,在半導體領域再造一個‘備胎計畫’。”鮮為人知的是,這場自救運動中埋下了一顆關鍵火種——華為將“星光工程部”整體剝離,轉由深圳國資委控股的深芯恆科技投資公司接手。這個成立於2018年的部門,原本承擔著華為自研半導體裝置的使命。在矽谷某智庫的評估報告中,這個部門被標註為“中國最危險的半導體技術儲備庫”。“這不是簡單的資產剝離,而是一次戰略性的技術轉移。”一位接近交易的投行人士透露,華為通過股權設計保留了核心技術授權和優先採購權,而深圳國資委則以500億元產業基金為新公司注入“國家資本”。這種“民企基因+國有資本”的混改模式,後來被業內稱為“新凱來模式”。
半導體裝置被稱為“工業皇冠上的鑽石”,全球前五大裝置廠商壟斷著85%的市場。當ASML的EUV光刻機被西方嚴密封鎖時,新凱來選擇了一條更艱難的突圍路徑。2023年,其與哈爾濱工業大學聯合實驗室傳出突破:基於深紫外(DUV)光源的“多重自對準圖形化技術”,成功在45nm光刻機上實現7nm晶片試產。“這就像用普通手術刀完成了顯微外科手術。”中科院微電子所所長葉甜春評價道。儘管這種工藝的成本比EUV高出30%,但它讓中國首次觸摸到先進製程的脈搏。更值得關注的是,新凱來同步佈局的奈米壓印光刻技術,正在蘇州實驗室進行第三代原型機測試——這項可能顛覆傳統光刻路徑的技術,被日本經濟新聞稱作“東方人的技術奇襲”。
刻蝕機的“極限遊戲”在刻蝕裝置領域,新凱來上演了更具戲劇性的逆襲。2024年,其“武夷山”系列刻蝕機進入中芯國際14nm產線,將晶圓良率從55%提升至78%。這背後是一組震撼的資料:裝置腔體溫度波動控制在±0.01℃,電漿體密度均勻性達98.7%,這些指標已超越應用材料同類產品。
在深圳龍崗的華為基地,有一條直通新凱來研發中心的專用光纜。這條每秒傳輸40TB資料的“數字臍帶”,見證著兩個企業間複雜的共生關係。“我們給新凱來的不是訂單,而是一整套技術需求圖譜。”華為海思某負責人透露,從5G基站晶片的耐高溫要求,到手機處理器對鰭式場效應電晶體的特殊結構,華為將十年積累的“需求庫”向新凱來開放。這種深度協同產生了驚人的化學反應:新凱來ALD裝置研發周期從24個月縮短至14個月,故障預測演算法精準率提升至95%。更隱秘的是資本層面的聯動。通過深創投旗下的半導體母基金,新凱來與華為投資的科益虹源(光刻膠)、晶瑞電材(高純試劑)等企業形成技術聯盟。這種“鏈主企業+專精特新”的生態矩陣,正在重構中國半導體產業的底層邏輯。
在新凱萊蘇州工廠的牆上,掛著三幅意味深長的照片:2000年張汝京創辦中芯國際時與上海市領導的合影;2014年國家積體電路大基金成立儀式;2022年新凱來首台光刻機下線場景。這三張照片,勾勒出中國半導體產業從市場換技術到自主創新的歷史轉折。國家大基金二期70億元的戰略投資,助力新凱來在三年內建成三大研發中心。新凱萊研發投入佔比始終保持在35%以上,是行業平均水平的2.3倍。這種投入強度背後,是國資委考核指標的創新——對新凱來的評估中,專利數量權重高於營收增速。但國家資本並未取代市場規律。在深圳國資委的混改方案中,新凱來管理層持有15%的期權池,核心技術人員享受項目利潤分成。這種“國家隊掌舵、市場機制划槳”的模式,或許正是其能快速迭代的關鍵。
2024年,應用材料公司在年報中首次將新凱來列為“戰略級競爭對手”;ASML則緊急調整對華銷售策略,向中國開放部分DUV光刻機限購。這些變化背後,是一個正在被重塑的全球權力結構。
諮詢公司貝恩的報告顯示:到2026年,中國半導體裝置國產化率將從2021年的7%提升至35%。而新凱來在其中扮演著“鏈主”角色——其供應商名單上,富創精密的真空腔體、江豐電子的靶材、華卓精科的雙工件台,這些曾經依賴進口的部件,如今都打上了中國製造的烙印。更具象徵意義的事件發生在2025年1月:新凱來宣佈在德國慕尼黑設立歐洲研發中心,這是中國半導體裝置企業首次在西方技術腹地建立前哨站。正如《經濟學人》評論:“當中國人開始輸出半導體技術標準時,全球化進入了新回合。”
雖然取得了重大技術突破,但是我們仍需保持清醒。畢竟,新凱來的28nm光刻機良率仍比ASML低15個百分點;其刻蝕裝置尚未進入台積電、三星的採購名單;在EUV領域,中國仍落後至少兩個技術代際。但歷史總是給予破壁者超額獎賞。1930年代,美國通用電氣衝破歐洲企業對鎢絲燈泡的壟斷;1970年代,日本尼康在光刻機領域超越德國蔡司;今天,新凱來們正試圖在半導體裝置領域復刻這些傳奇。
新凱來的故事,本質上是兩種力量的交響:一個是華為代表的民營企業創新動能,一個是國家主導的產業升級意志。當這兩種力量在半導體領域交匯,產生的能量足以擊穿技術鐵幕。
正如卡爾·馬克思在《資本論》中所言:“產業革命在它的故鄉英國準備好了的前提,在別處可能以政府主導的方式完成。”在21世紀的半導體革命中,中國正在書寫這個命題的新答案。
新凱來的英文名Sicarrier本身的表達就是一種雙關:既做矽基攜帶者和引領者,又要成為新事物的繼往開來者。
苟日新,日日新,又日新。期待新凱來凱旋歸來的那一天! (哎呀AI)