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中國國產半導體“大爆發”！
2025灣區半導體產業生態博覽會（簡稱“2025灣芯展”）今日（10月15日）開幕。在展會現場，備受市場關注的新凱來旗下多家子公司攜新品亮相，受到現場觀眾追捧。
在2025灣芯展現場，新凱來展台工作人員向《科創板日報》記者表示，此次並無新品展出。展區內依然是此前出圈的十六款以中國名山命名的裝置，包括刻蝕、薄膜、量檢測裝置等。
在聚光燈的焦點之外，今年的灣芯展上行業龍頭眾多，涉及裝置及零部件、晶圓製造、半導體材料、顯示終端等眾多產業環節，其中不少是第一次參加灣芯展，且不少公司誠意十足，展台不乏亮點或特色。
與今年灣芯展上新凱來展區僅一條過道之隔，是一家名為上海芯上微裝科技股份有限公司（下稱“芯上微裝”）的展區。對比新凱來的“眾星拱月”，芯上微裝展區看似觀眾寥寥，但《科創板日報》記者關注到，實際上這家公司“來頭不小”。
芯上微裝成立於今年2月，至今不到8個月。據其展台工作人員介紹，該公司核心人員及技術資產來自上海微電子集團，今年分拆後單獨成立公司，業務定位能夠快速實現市場化的裝置，而上海微則將專注前道核心裝置開發。
目前芯上微裝大股東為員工持股，持股佔比約為24%。其工商資料顯示，該公司股東還包括了上海信投、張江浩成、中信金石、高新投資、浦東科創集團、餘姚戰略新興產業母基金等國資背景機構。
芯上微裝在今年的灣芯展上，主要以宣傳資料形式，展示其新型化合物半導體光刻機、雷射退火裝置、晶圓先進封裝量檢測裝置、晶圓先進封裝光刻機以及鍵合裝置方案。以晶圓先進封裝光刻機為例，據稱可主要應用於人工智慧及先進智能終端等各種高端晶片封裝領域，具備高解析度、超大曝光視場和支援大翹曲襯底等特點，可滿足Flip Chip、Fan-in、Fan-out WLP/PLP和2.5D/3D整合等各種晶圓級/基板級先進封裝的光刻工藝需求。
芯上微裝工作人員表示，目前公司裝置產品已經匯入國內幾乎所有主流的封測廠商，“公司相關業務之前在上海微期間就已經有了多年的積累，市場份額不小”。
北方華創在今年宣佈完成對芯源微的併購後，今年灣芯展上，芯源微以北方華創集團旗下公司身份，在北方華創展台展出其8-12英吋積體電路前道塗膠顯影、化學清洗裝置及工藝解決方案，以及先進封裝與化合物領域6-12英吋裝置工藝。
拓荊科技在灣芯展上，展出其晶圓對晶圓混合鍵合裝置，以及12英吋電漿體增強化學氣相沉積裝置等產品，對應了該公司近年在薄膜沉積裝置、三維整合裝置兩大產品主線上的發展。
據瞭解，晶圓對晶圓混合鍵合裝置主要應用於三維儲存晶片和背照式圖像感測器製造等領域，拓荊科技目前已實現產業化應用，向下遊客戶進行驗證，已出貨至先進儲存、邏輯、圖像感測器等客戶，未來將持續出貨並擴大量產規模。
富創精密在灣芯展展台上，展出了公司出貨量較高的勻氣盤和加熱盤兩款產品，以及奈米薄膜技術、靜電吸盤、ALD裝置整合閥組、氣體傳輸零部件等。
據介紹，作為半導體裝置的核心零部件，勻氣盤和加熱盤兩款產品主要用於薄膜沉積環節，且作為耗損品，通常兩年時間左右，裝置廠商客戶就需要對相關零部件換新。
在性能上，富創精密加熱盤在溫度均勻性指標可做到±0.5%以內，均溫可以做到2.45度，不輸海外龍頭同類產品。
勻氣盤產品方面，目前富創精密已經量產超過300餘款，產品線全面覆蓋四階直孔、螺旋斜孔、內腔式交叉孔銲接技術，以及加熱絲類銲接和四層一體式銲接等多氣路水路解決方案，同時採用了化鎳、特種陶瓷噴塗、奈米塗層等技術。
半導體矽片材料商滬矽產業，灣芯展展示了其全方位、一站式矽材料服務能力。通過自我創新和對外合作併購，滬矽產業在產品體系與按需定製能力方面，與其他行業競爭對手形成差異化。
據介紹，該公司目前產品尺寸覆蓋12英吋、8英吋及以下；產品類型覆蓋拋光片、SOI片、外延片；產品應用領域覆蓋邏輯、功率、儲存及圖像感測晶片等。
目前滬矽產業子公司新傲科技和Okmetic 200mm及以下SOI矽片合計產能超6.5萬片/月。新傲科技和海外子公司Okmetic 200mm及以下拋光片、外延片合計產能超過50萬片/月。
滬矽產業已公佈的產能規劃將達到120萬片/月。今年上半年，滬矽產業積體電路用300mm矽片產能升級太原項目持續建設，上海及太原兩地300mm半導體矽片合計產能已達到75萬片/月，規模位居國內第一梯隊。
國內另一家半導體矽片龍頭中欣晶圓，直接將未切割的半導體級矽單晶棒，擺在了灣芯展現場。據其展台工作人員介紹，矽單晶棒重420公斤，長度約為2.3米，切割後出片率在2000片左右，矽片良率做到了85%左右。
目前中欣晶圓規劃產能到今年年底約45萬片/月，各生產流程位於銀川、杭州、上海、麗水四地。其中最新規劃建設的麗水二廠，集合了從拉晶、切磨到外延的全流程，並且採用了全自動化的產線。
華潤微在灣芯展期間，重點展示了該公司位於華南市場的華潤微電子深圳12英吋晶圓生產項目，該項目屬於深圳市重大項目，由潤鵬半導體公司承建。
據展台現場工作人員表示，目前該項目已在2024年底通線，華潤微深圳項目一期總投資達220億元，主要覆蓋40、55、90奈米工藝節點，以及MCU、射頻晶片、電源晶片、顯示驅動四類產品，將能夠廣泛用於新能源、智能終端、消費電子、汽車電子等終端市場。
在華虹集團的展台上，展出了上海華力的12英吋晶圓。據介紹，使用其28奈米高效能精簡型工藝，可用於藍牙晶片、電視時序控製器、Wi-Fi晶片、邏輯圖像處理晶片等產品。
今年是華虹半導體首次來灣芯展參展。其展台華虹宏力的工作人員向《科創板日報》記者表示，今年他們代表集團參展的展位只是一個標攤，並沒有像一些其他公司展位一樣進行精裝。“今年我們的主要目的是調研一下灣芯展的實際情況，參展工作人員主要以市場宣傳推廣為主，沒有帶銷售團隊一起過來。反饋不錯的話，明年考慮繼續加大對灣芯展的支援和投入”。
除了半導體產業鏈各環節產品工藝的集中展示，在今年的灣芯展，下游終端廠商及其產品也為盛會增添亮點。
光峰科技兩款旗艦LCoS AR光機——蜻蜓G1和彩虹C1，在今年的灣芯展期間展出，吸引了不少觀眾的關注。其中蜻蜓G1光機採用“單光機驅動雙目顯示”為核心架構，通過特殊的光學設計，可將光機輸入的光獨立輸送到眼鏡的左右目鏡片，最後實現雙目獨立顯示。
據介紹，顯示效果上，蜻蜓G1光機採用的LCoS模組的單目解析度為640x200，可清晰呈現細膩畫面細節；視場角（FOV）約25°且支援定製化調整，滿足不同場景下的視野需求；虛像距約為5m。
光峰科技於今年9月29日在互動平台上表示，截至目前，該公司積極拓展國內外核心AR眼鏡品牌廠商，完成了與國內外一流主流AR眼鏡C端品牌客戶的光機對接。 (科創板日報)