2004年，一位60歲的老人從美國矽谷飛抵上海浦東。

在計程車上，他打趣地讓司機猜猜他多大。

計程車司機打量他後笑道：“您看起來只有38歲！”

老人聞言爽朗大笑：“太好了，以後我就是38歲的人！”

這位老人，正是被譽為“中國晶片刻蝕機之父”的尹志堯。此刻，他正把人生刻度重設到了中國芯的起跑線。

2025年1月15日，企業家之夜活動現場，81歲的尹志堯手捧鮮花，作為當天晚上年齡最大的獲獎者，接受大家的致敬。

● 企業家之夜，尹志堯博士領獎瞬間。圖片來源：微博@中微公司官微

已耄耋之年的他，還神采奕奕地指揮著北京四中合唱團的孩子們，唱響了《中微之歌》。

伴隨著孩子們激情洋溢的歌聲，尹志堯的傳奇大幕悄然拉開。

對於國人來說，“刻蝕機”是一個無比陌生的詞彙。

但在高科技領域，它是半導體製造中不可或缺的核心裝置之一，更是中國製造“中國芯”的基石。

正是在尹志堯及其團隊的努力下，中國才得以自主生產出刻蝕機，並迫使美國取消了對中國刻蝕機出口的禁令。

如今，中微公司的刻蝕裝置，在實驗室達到0.02奈米的精準度，而國外刻蝕機巨頭目前量產能力尚在5奈米到3奈米階段。

● 中微研發的刻蝕裝置。圖片來源：中微官網

正因如此，很多人說，尹志堯這個名字，註定會載入史冊。

1944年，祖籍安徽的尹志堯，出生於北京一個知識子家庭。

由於祖父和父親都曾在國外留學，尹志堯在濃厚的文化氛圍中長大，接受了良好的教育。

高中畢業後，尹志堯考入中國科技大學化學物理系，後在蘭州煉油廠和中科院系統工作。

1978年，尹志堯考入北京大學化學系讀碩士。

當時北京大學有兩棟很特別的大樓，裡面裝著密密麻麻的電子管，那是國內最先進的電腦，記憶體為128K（相當於現代手機記憶體的百萬分之一）。

而彼時的尹志堯並不知道，未來有一天，他主持研發的裝置，能在米粒上雕刻出10億個漢字。

1980年，36歲的尹志堯在親戚的幫助下赴美留學。

4年後，他以優異的成績拿到美國加利福尼亞大學洛杉磯分校的物理化學博士學位。

畢業後的尹志堯，進入美國矽谷半導體巨頭英特爾公司，開啟了他傳奇般的科技人生。

工作2年後，他跳槽到華人林傑屏建立的泛林集團（LAM）。

在泛林的5年中，尹志堯從研發部資深工程師做到了資深經理，還開發出了彩虹號電漿體刻蝕機。

有了尹志堯這員幹將，泛林得以快速發展，從一個岌岌可危的小公司，蛻變成為市場佔有率40%的行業第一。

在矽谷，尹志堯成了香餑餑，各大半導體公司爭相拉攏，欲將其招之麾下。

1991年，尹志堯接受了美國應用材料（AMAT）公司的邀請，擔任總部首席技術官。

在他的牽頭下，AMAT公司相繼研發出多款新型刻蝕機，再次回到了刻蝕機全球龍頭的位置。

在半導體行業深耕20年，尹志堯一共擁有280多項多國專利，行業有一半企業都用過他參與研發的裝置。

基於他的成就和對AMAT的貢獻，尹志堯被任命為公司副總裁。

在國內民眾月收入僅有千元左右的時代，尹志堯就已經過上了年薪百萬、財富自由的生活。

在矽谷打拚的華人雖然為數不少，但有如此成就者實屬鳳毛麟角，堪稱矽谷傳奇。

2004年，即將60歲的尹志堯面臨退休。在世人看來，他在異國他鄉辛苦打拚半生，如今優渥清閒的退休生活觸手可及，是到了該享受人生的時候了。

然而，命運卻在這時，給了尹志堯新的選擇。

這一年，在一次國際半導體裝置展覽會上，尹志堯邂逅了上海經委副主任江上舟。

正是這次見面，改變了他的人生軌跡。

江上舟是尹志堯在北京四中的校友，畢業於清華無線電專業的他，很早就意識到積體電路領域發展的重要性。

當時，中國的晶片來源主要靠進口，而以美國為首的西方國家，動不動就把晶片納入管制範疇。

江上舟深知，要打破這個局面，變被動為主動，最好的辦法就是實現自主生產晶片。

當時中芯國際已經落戶上海，如果刻蝕機也能實現國產化，那對“中國芯”的製造必將如虎添翼。

● 晶片電子板。圖片來源：攝圖網

於是，江上舟向刻蝕機專家尹志堯發出了邀請，他誠懇地說道：“回來吧，我們一起幹，我已經是癌症晚期，那怕豁出這條命，也要造出中國自己的刻蝕機，這樣就再也不怕外國人卡我們的脖子了。”

聽到老同學的肺腑之言，尹志堯身為中國人的血液在燃燒。

想到自己的父輩，不管面對多少誘惑，都堅定地選擇回國，積極投身國家建設。

而自己這20年來，一直在為美國人作嫁衣，為美國做貢獻，卻唯獨沒有用自己的學識來回報祖國。

在美國生活多年的尹志堯，心裡很清楚，即便美國再發達，也無法給他帶來歸屬感。

只有中國才是他的根，這一點永遠也不會變。

現在，是時候回去為國效力了。

儘管沒有任何創業經驗，可60歲的尹志堯，毅然帶領15人的團隊飛抵上海，在浦東創辦了中微半導體裝置公司。

那時，中國的積體電路剛剛起步，資金、人才、裝置方面都存在較大缺口，加上刻蝕機研製生產的複雜程度，不亞於兩彈一星，這就使得尹志堯的創業之路，無比坎坷艱辛。

可無論有任何困難，都阻礙不了他為祖國研製刻蝕機的激情和決心。

政府部門投入的資金消耗殆盡後，那就跑回美國拉融資。

沒有做微觀裝置所需幾十個領域的專業技術人才，就從各大院校招些相關專業學生來培養。

2007年，中微公司第一台CCP刻蝕機交付成功，這可是中國自己製造的大國重器啊！

這也標誌著中國“中國芯”的處理程序，取得了巨大突破。

對於刻蝕機，尹志堯有過一個比喻。

他說晶片製造，好比在人的頭髮絲的幾千分之一甚至幾萬分之一的尺度上，蓋一個50到60層的大樓。

這是需要多部門多裝置協同作戰的。

其中最關鍵的幾種裝置裡，薄膜機負責鋪好材料，光刻機在上面畫好花紋，然後刻蝕機再把多餘的地方剪掉，像剪窗花一樣。

隨著科技的發展，晶片的體積越來越小，精度也越來越高，加工步驟也越來越多，刻蝕機的作用也就越來越大。

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