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研發成功，最小僅90奈米！這一領域中國再獲突破

記者20日從浙江大學獲悉，該校光電科學與工程學院/海寧國際聯合學院狄大衛教授和趙保丹研究員團隊，成功研發出微米和奈米鈣鈦礦LED，其降尺寸過程僅造成微弱的性能損耗。其中，最小尺寸僅為90奈米的奈米鈣鈦礦LED，為迄今為止公開報導的最小LED像素。相關研究論文發表在國際期刊《自然》上。狄大衛介紹，目前世界最先進的顯示技術是基於Ⅲ-Ⅴ族半導體的微型發光二極體，可實現超高畫質、超高精度的光電顯示。但受限於複雜的工藝技術，微型發光二極體製造成本極高，當像素尺寸減小到約10微米或更小時，效率會急劇下降。從Ⅲ-Ⅴ族半導體的微型發光二極體的微型化研究中獲得啟發，狄大衛團隊開始研製用於未來顯示技術的更小的鈣鈦礦LED，於2021年首次提出“微型鈣鈦礦LED”概念，並獲得國家與國際專利。用傳統光刻工藝製造微型鈣鈦礦LED會破壞鈣鈦礦材料。為此，研究團隊設計出一套區域接觸工藝，通過光刻製作的圖案化窗口確保像素區域遠離電極邊緣，能夠製造像素尺寸從數百微米到90奈米的鈣鈦礦LED，同時保證了LED的發光效率。據悉，微米和奈米鈣鈦礦LED在AR/VR顯示等領域具有巨大應用潛力。 (科技日報)
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