根據最近剛結束的SEMICON China 2025上的權威見解,材料創新和供應鏈彈性將成為決定未來半導體競爭力的決定性因素。各國保護和控制關鍵材料的能力不僅將重塑全球半導體格局,還將決定未來幾年技術進步和工業領導力的步伐。工藝材料:打造原子級精度的“超級工廠”光刻膠和支援材料:全波長“組操作”北京科華 展示了其28nm KrF光刻膠溶液,實現了90°±0.5°的側壁垂直度和99.5%的良率,通過驗證 長江儲存(揚子儲存器科技有限公司)進行批次生產。南大光電 展示了其ArF光刻膠,在 中芯國際(中芯國際(SMIC)的14nm生產線,以及EUV前驅材料,形成了一個完整的生態系統 上海微電子裝置(SMEE)。徐州博康 展示了解析度突破1.5μm、金屬離子含量小於0.01ppb的i-line光刻膠,進入TSV封裝市場,並與 長電科技(JCET集團)。CMP材料:微米級“磨削革命”3M的TrizactTM拋光墊搭配無氟調理劑,在12英吋銅工藝中實現了小於0.5nm的表面粗糙度,減少了 65%。安集科技 推出了第三代氧化物CMP漿料,在 長江儲存(YMTC)的3D NAND工藝,碟形缺陷控制在±2nm範圍內,壽命延長 40%。鼎龍股份 拋光液加入劑純度達到99.999%,形成了一個閉環材料生態系統 江豐電子’超純銅靶,電阻降低15%。濕電子化學品和特種氣體:超純生態系統的“命脈江化微 開發了金屬離子含量小於0.1ppb的9N級電子硫酸,通過其再生系統實現95%的利用率,減少碳排放 40%。湖北興福電子 生產金屬離子含量小於0.05ppb的IC級磷酸(99.999%)和過氧化氫,經SEMI認證,適用於 中芯國際(中芯國際(SMIC)的28nm工藝。華特氣體 雜質低於0.1ppb的砷/磷通過ASML認證,支援高端光刻裝置。金宏氣體 超純氨水(9N+)支援 中微半導體(AMEC)的5nm蝕刻裝置,與 北方華創(NAURA)的離子注入器。源展新材料 提供雜質含量低於0.1ppm的液體硼/磷前體,支援 北方華創’離子注入器,實現14nm均勻性 ±3%。南大光電 HfO 2前體(純度99.9999%)將柵極缺陷密度降低到小於10 3 cm2 in 長鑫儲存(CXMT)的5nm工藝。微釜半導體 引入氮化矽薄膜沉積技術(均勻性±1.5%),適用於功率器件、儲存器和高級邏輯晶片,與公司簽署12英吋生產線驗證協議 長江儲存(YMTC)。包裝材料:推動“3D堆疊革命”先進的包裝粘合劑:使用“液體裝甲”增強3D堆疊”長電科技 0.05mm超細瀝青底部填充(Tg>150°C)在7nm 3D堆疊工藝中實現了99.5%的良率,展示了汽車級寬溫度範圍測試 (-40℃~150℃)。漢高 LCM 1000AG-1膠粘劑以50mm/s填充,空隙率低於0.5%,AI晶片FO-WLP效率提高30%。日東電工 該臨時粘合膠實現了低於5N/cm的剝離力,殘留物小於0.1μm,適用於12英吋TSV堆疊(翹曲<10μm),與3M的CMP焊盤形成了前端到後端協同。熱管理和密封:極端環境的“強化防禦賀利氏 燒結銀(Ag≥99.9%)實現了200W/m·K以上的熱導率,將HBM3模組的熱阻降低了40%,引起了AMD和NVIDIA的關注。世索科 推出無氟全氟彈性體(Tecnoflon®FFKM NFS),在300°C/-50°C循環試驗中實現了低於1×109 Pa·m3/s的洩漏率,首次在日本推出無PFAS技術ESG論壇。資騰科技 開發熱阻低於0.1°C·cm2/W的熱介面材料(TIMs),支援AI晶片液冷解決方案,並與三家計算公司簽訂合同。第三代半導體材料:推動“大尺寸SiC革命”天岳先進 展示了全系列6/8/12英吋SiC襯底,在12英吋高純度襯底上實現微管密度低於1cm2,支援 華為(華為)的800V EV平台。天科合達 8英吋光學級基板(透射率>95%)和12英吋散熱器基板瞄準AR眼鏡市場,P型6英吋基板推進汽車級驗證。浙江晶瑞 推出了其12英吋多晶SiC襯底和8英吋光學級錠,與 龍旗科技(龍馳科技(Longcheer Technology)計畫到2027年大規模生產智能眼鏡。純水一號六級超純水系統(電阻率18.2MΩ·cm,TOC<5ppb)涵蓋12英吋晶圓廠,與 中芯國際(SMIC).清軟微視 Alpha系列缺陷檢測裝置(精度0.1μm)整合AI複檢軟體,提高客戶良率2%。材料生態:驅動裝置和材料之間的“連鎖反應”·裝置-材料協同:• 北方華創離子注入機 + 源展前驅體(14nm 均勻度±3%)• 中微刻蝕機 + 有研新材鉭靶(晶粒尺寸<50nm,壽命延長2倍)•新凱來 ALD 裝置 + 南大光電前驅體(5nm 缺陷密度<10 3 cm2)·符合ESG標準的材料:• 江化微再生系統(95% 試劑利用)• 世索科無氟橡膠(消除PFAS)• 3M 無氟修整器(無氟微調器)·2025年材料碳足跡白皮書顯示,每個工藝單元的碳排放量減少了47%。隨著光刻膠、CMP、封裝和第三代半導體材料的全面升級,中國半導體材料產業正在形成完整的裝備+材料+工藝生態系統,支援28nm至5nm先進工藝,賦能AI、5G、自動駕駛和可再生能源技術不斷重塑全球半導體產業格局。 (銳芯聞)