深圳穩頂聚芯：首台高精度步進式光刻機順利出廠！

9月23日消息，近日，深圳穩頂聚芯技術有限公司（以下簡稱“穩頂聚芯”）宣佈，該公司研發的首台國產高精度Stepper（步進式）光刻機順利出廠。

根據穩頂聚芯官方視訊號披露的產品資料顯示，這款步進式光刻機屬於其WS180i系列，主要應用於mini/micro LED光電器件、光晶片、功率器件等化合物半導體領域，能夠滿足矽片、藍寶石、SiC等襯底的不同膠厚光刻工藝需求。從具體的參數來看，WS180i系列覆蓋了2-8英吋晶圓，解析度覆蓋了1.5μm-0.35μm。

除了步進式光刻機之外，穩頂聚芯還擁有套刻及關鍵尺寸光學量測裝置（量測精度10nm）、超精密光學成像質量評價系統、高性能主動減震系統、晶圓尋邊器、晶圓機械手、薄膜測量系統（膜厚測量精範圍10nm-100μm）。

根據工商資料顯示，穩頂聚芯是一家成立於2023年5月，註冊地是深圳南山區，註冊資本119.21306萬元，經營範圍包括：儀器儀表製造；實驗分析儀器製造；電力電子元器件製造；超導材料製造；機械電氣裝置製造；電氣裝置銷售；儀器儀表銷售；電子元器件零售；機械零件、零部件銷售；電子產品銷售。技術服務、技術開發、技術諮詢、技術交流、技術轉讓、技術推廣。截至2024年底，參保人數為37人。

相關招聘平台的資料顯示，穩頂聚芯是一家集半導體核心裝備研發、製造和銷售於一體的高科技公司。公司產品聚焦於半導體工藝製程裝備開發與製造，廣泛應用於功率器件、光電器件、MEMS、微波射頻等半導體及泛半導體製造領域。公司在深圳擁有 2000 多平米的研發及生產廠房，包括干級裝配調測潔淨間、百級和十級實驗室潔淨間。

在核心團隊方面，85%以上具有國內外知名大學研究生學歷，且均為來自國內半導體行業頂尖科研院所及全球 500強企業，具有豐富的行業技術積累、卓越的正向研發能力、創新型的高端裝備製造水準和獨創的企業營運管理理念，引領全球自動化與智能化高端裝備研製的新潮流。

穩頂聚芯稱，公司核心團隊研發的積體電路工藝裝置已通過知名積體電路製造商認證，獲得了客戶的高度好評。

值得注意的是，在2025年2月20日，穩頂聚芯在 “科創寶安・創投薈” 上就發佈了其光刻機整機研發成果，稱公司產品聚焦於成熟工藝製程的半導體前道光刻工藝製造，擁有 2000 多平方米的研發及生產廠房和一支高素質的研發團隊，同時發佈了1億元的融資需求。

據介紹，目前穩頂聚芯具備年產 20 台光刻機整機的產能，2025 年預計營收 1.4 億元，實現淨利潤 4480 萬元。 (芯智訊)