荷蘭ASML前任CEO彼得·溫寧克在接受路透社採訪時表示:
由於美國對中國晶片的圍追堵截,ASML的中國區業務已經進入了一個至關重要的階段。美國越是圍堵中國,中國就越有可能開發出與ASML匹敵的產品。
從2018年美國持續對荷蘭政府施壓,不允許我們交付給中國大陸企業EUV光刻機開始,我們就想辦法在緊張的遊戲中找出平衡點。我作為當時公司的CEO,多次與美國以及荷蘭政府協商,但是直到我退休,都無法改變現狀。
ASML並不擔心國際上的其他競爭者能在未來開發出先進的光刻機,但中國是全球最大的晶片生產國,也擁有龐大的發展潛力,放棄中國市場,或者說在美國的逼迫下不與中國市場合作,這無異於是砸自家飯碗的做法,ASML繼續進入中國市場是絕對有必要的。
2002年,ASML與中國晶片製造商中芯國際簽訂合同,採購乾式DUV光刻機以及i-line系統裝置並安置在中芯上海的兩個製造工廠當中。該訂單的簽訂,是中國大陸地區與ASML的第一筆交易,標誌著ASML正式與中國大陸企業進行業務往來。
2014年,中芯國際再次與ASML簽訂了批次進口光刻機的採購協議,其採購金額將近4.5億歐元,其中包括了NXT系列的浸潤式光刻機裝置。
ASML CEO彼得·溫寧克與中芯國際CEO邱慈雲,均就此次合作達成共識,認為雙方的合作是在技術與市場上面的雙贏,既可以幫助ASML更好的在中國市場發展,又可以依靠ASML的裝置發展中國晶片技術,凸顯出了全球化體系下的彼此依賴。
2017年,ASML與上海積體電路研究與發展中心簽署合作協議,在上海地區建立一個共同持有的世界級技術培訓中心。
培訓中心有ASML提供的光刻和計量裝置,還聘有ASML總部過來的工程師以及外貿人員,為中國IC產業現有以及未來潛在的客戶群體提供產業培訓。
從2018年開始,美國針對光刻機產品以及晶片技術實施出口管制,不但切斷了特定企業的晶片供應,還封鎖了中國企業訂購的EUV光刻機。
最開始是美國的技術比例原則,然後是禁止台積電為大陸地區的敏感企業代工晶片,最後則是來到了全面制裁封鎖。
將大量中國企業部門以及大學研究所拉入實體清單,封鎖其取得美國技術的機會。並且美國政府還聯合FBI,針對在美國工作的華裔科學家實行“中國行動計畫”,對相關人員進行類似於監禁的跟蹤調查,確保其不會通過某些方式將美國技術透露給中國企業。
2023年,彼得‧溫寧克在荷蘭總部接受彭博專訪時表示:
在美國的封鎖下,中國的半導體公司必須與全球對手競爭。中國企業對於高水準的先進裝置有著極高需求,而中國本土企業的許多裝置技術並不先進,所以中國企業希望從國際層面採購裝置。
美國的出口管制是循序漸進的,我們在這個條件下向中國企業交付了一些未被限制的DUV光刻機,這些裝置符合美國以及荷蘭的出口條例。如果中國企業得不到這些裝置,他們就會自己去研發,儘管耗時很長,但他們終將達到目標。
這就像物理學定律一樣,你給予對方強大的壓力,對方回饋給你的力量也同樣會加強。
ASML首席技術長馬丁,以及首席戰略官范霍特在2018年和2019年訪問華,發現中國企業正在挑戰更加困難的浸潤式光刻技術。該技術由台積電前副總裁林本堅開創,台積電便聯合ASML完成了浸潤式光刻機的開發,從而雙雙成為了行業內的頂級巨頭。
浸潤式裝置對於中國企業來說難度較高,除特定的供應鏈之外,還需要讓其投入生產線大規模製造晶片,並且還要保證成本和良品率。
以往國產裝置的發展進度慢,核心因素之一就是因為海外的裝置成熟、效率高,並且可以拿錢批次採購,這也導致許多企業的第一採購角色是海外企業,從而忽略了國產裝置的存在。
美國的制裁封鎖,迫使中國企業將核心目光放在本土企業身上,以往採購進口裝置的資金,全部給本土企業投資了過去,這必然會加速中國自主技術的發展,從而不斷的推出自主可控的製造裝置。 (逍遙漠)