#ASML
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半導體行業消息顯示,美國智庫發佈的一份統計報告勾勒出國內光刻機存量格局:從 2012 年至 2026 年一季度,國內晶片製造企業累計引進了 343 台 ASML 浸潤式 DUV 光刻機。在這批裝置當中,超過 270 台屬於 NXT:1980i 型號,這類裝置既能穩定量產成熟工藝晶片,借助多重曝光技術,也能夠實現 7nm 等級晶片的生產,足以支撐先進製程晶片製造多年。 一場針對浸潤式 DUV 光刻機的管制收緊,正在半導體行業持續發酵。今年 4 月西方國家推出 MATCH 法案,目標直指 ASML 浸潤式光刻機。法案條款要求,禁止 ASML 繼續向國內 5 家重點晶片企業出售浸潤式光刻機,同時切斷裝置零部件供應與現場售後維修服務。法案還設定時限,要求 ASML 等相關企業在 150 天內按照美方制裁標準落實管控,否則美方將直接對企業實施管控。 如今 150 天的時限已經臨近到期,但 MATCH 法案後續落地的動作卻遲遲沒有新進展。荷蘭政府與 ASML 公司都公開表達了反對立場。在他們看來,這項法案違背全球半導體產業分工邏輯,管制權限本應由荷蘭自主決定,美方強行推動域外管制並不合理。 在此之前,EUV 光刻機早已被禁止對華銷售。失去中國市場,對於 ASML 而言只是少了一小部分高端客戶。而一旦浸潤式 DUV 光刻機也被納入禁售清單,影響範圍會急劇擴大,幾乎覆蓋 ASML 在中國的絕大多數客戶。
美智庫統計:中國晶圓廠落地 343 台 ASML 浸潤光刻機,270 台高端機型可長期支撐 7nm 製程