千億光刻賽道,張江跑出“唯一獨苗”!

在巨頭壟斷的尖端領域破土而出。

1984年,飛利浦內部的Natlab實驗室被高層放棄。因為不看好其昂貴的技術研發方向,這個攻堅光刻技術的團隊,被安置在垃圾站旁的簡易工棚裡,環境嘈雜,臭氣熏天。

誰也沒想到,從垃圾站出發的ASML,會成為鼎鼎有名的光刻巨頭,最終改寫了全球半導體產業的格局。

歷史的軌跡,正悄然重現。

41年後,太平洋彼岸的上海,一群中國年輕人選擇向同一座技術高峰——EUV光源發起衝擊。他們的起點,是砸牆搭建的家庭實驗室,是瀰漫著機油的郊區汽車廠房。

這群年輕人,正是朗道燧岩(上海)科技有限公司(以下簡稱“朗道科技”)的初創團隊。

成立僅一年餘,這家初創公司便斬獲張江高科895創業營“創業之星”,完成天使輪戰略融資,累計融資數千萬元,並且成為了國內百億EUV光源賽道中備受矚目的獨苗選手。

從重慶民居到南京郊區的汽車廠房,再到上海張江的核心園區,這家年輕的公司為何能在巨頭壟斷的尖端領域破土而出,被市場寄予厚望?

近日,張通社獨家對話朗道科技創始人王豪博士,探尋這個年輕團隊敢想敢做,破局EUV光源壟斷背後的故事。

01. 放棄鐵飯碗清華校友集體創業

朗道科技的故事,是一群世俗意義上的好學生集體“越軌”的結果。

創業之前,王豪走的是一條規整且平順的學術之路。

2015年,他從重慶大學考入清華大學電機系,開啟碩博連讀。其專業是當時頗為冷門的氣體放電電漿,所在的清華大學電漿體實驗室是國內該領域的重要研究陣地。課題組的兩大方向,一是近年大熱的核聚變,另一便是半導體光刻光源。

博士畢業後,他回到母校重慶大學任教。然而,三年的執教生涯讓他逐漸意識到學術與產業之間的鴻溝。“學了這麼多專業知識,怎樣才能真正用於產業?”這顆產業化的種子,在他心中悄然埋下。

不久,一個推動他走向產業的機會降臨了。

在重慶大學教學期間,王豪創辦了清華校友跑團。其中一位跑友,正是國內一家重要半導體裝置製造商的供應鏈負責人。2023年2月,王豪前往北京參觀其公司。

他近乎震撼地發現:中國半導體產業鏈雖全,但在最核心的光刻機,尤其是EUV(極紫外)光源上,幾乎是一片空白。

需要強調的是,光刻機是晶片製造的核心裝備,而EUV(極紫外)光源則決定了光刻機的精細度,其重要性不言而喻。當時,全球僅有ASML能製造EUV光刻機,並對中國實施嚴格禁運。這一殘酷事實,刺痛了王豪。他意識到,正如“用粗炭筆畫不出精妙的細節”,要突破晶片製造的工藝極限,就必須攻克最精細的極紫外光源。

從北京回來後,王豪與同為清華校友的妻子劉家慧進行了一場嚴肅的對話。當他提出想創業攻克EUV光源時,妻子的第一反應是:“你瘋了?”但王豪沒有放棄,他用了大量調研資料和分析,向妻子解釋這項技術的戰略意義與現實可行性。最終,劉家慧從質疑轉向認同,決定與他並肩同行。

事實上,投身EUV光源創業,並非一場“無根之水”的豪賭。

在全力投入之前,王豪花了近半年時間進行紮實的行業調研。他查閱全球專利,研讀專業文獻,幾乎翻遍了ASML二十多年來數千篇EUV會議報告,將國際巨頭的成長史摸了個底朝天。他發現,國外巨頭有幾十年、數千專家、數百專利的深厚積累,而國內的相關研究卻非常有限。正是這種清醒的認知,讓他更加堅定必須從最基礎做起。

調研完成,夫妻二人組成了最初的清華創業小隊。沒有場地,他們砸通了家裡的非承重牆,清空房間,搭建起最原始的實驗室。沒有裝置,他們抵押房產,拿出全部積蓄,全網搜尋二手甚至報廢的雷射器、真空儀器,自己動手維修、偵錯。

隨後,他們又說服了另外兩位清華校友加入——擅長品牌與營運的李雅竹,和擁有強大調研與供應鏈對接能力的楊坤韻。

清華校友創業小隊就此成形。為了讓成員們快速建立對EUV核心技術的認知,王豪帶領大家翻譯了上千頁的英文技術原著,進行了高強度的集中學習。

最終,第一台低功率的原型機,就在那個由客廳改造的簡陋實驗室裡誕生了。

02. 招募頂尖人才構築“技術-商業”閉環

家庭實驗室的初步成功,證明了技術的可行性,但只是故事的起點。

2024年初,一位建築業老闆被團隊打動,將南京溧水區一個閒置的汽車零部件廠房,以近乎免費的價格提供給他們。清華小隊正式開闢了新的空間。

“旁邊就是養雞場,吃大排檔就算是團建,”王豪回憶,“但這裡成了我們的研發聖地,四個創始人加上最早的員工,每天從早上7點幹到深夜12點。”

也是在這裡,2024年8月,朗道科技正式註冊成立。

朗道科技的第一版圖像logo

質疑聲來得斷斷續續。“很多人覺得我瘋了。”有行業前輩直言不諱,認為中國缺乏高端製程的血統,勸他“死了這條心,老實找個班上”。但也有人鼓勵他們:“在中國,總有人想做偉大的事。你只需要找到正確的人。”

朗道科技的人才招攬結果也印證了這句話。搬到南京後,他們開始不間斷地尋找有理想有才能的同伴。為此,朗道科技精心設計了專業、國際化的官網與招聘系統,由創始團隊親自奔赴清華、北大、復旦等高校宣講招攬英才……

他們用“捍衛人類智慧榮光”的願景和紮實的技術底蘊,吸引了一位又一位鮮活的同行者。

於是,我們看到了朗道科技如今的團隊——四位清華聯合創始人,以及十幾位來自清華、北大、南大、南加州大學、新加坡國立、帝國理工、聖彼得堡彼得大帝理工大學等知名學府的優秀人才。

頂尖人才全身心投入的成效逐步顯現。目前,朗道科技已形成從基礎研究到最終產品的完整閉環,王豪稱其為“三菜一湯”。

在軟體與模擬層面,公司自研的“電漿體工業模擬軟體”,已成為其核心研發利器。該系統既能降低企業硬體研發成本,同時支援高效對技術版本進行更新換代。還能為其他半導體裝置公司提供模擬軟體服務。在最艱難的時刻,團隊正是靠著模擬計算幾十萬的訂單,度過了漫長的硬體研發周期。

在硬體產品方面,朗道科技已成功推出低功率EUV光源系統。該系統成功實現低功率光源穩定輸出,且轉化效率國內領先。此外,該光源可為EUV光刻膠研發、光學系統及掩膜檢測等企業,提供低成本、便捷的極紫外光測試工具,助力產業鏈上下游的協同研發。

低功率LPP-EUV整機工程化效果圖

為填補EUV光源供應鏈的核心硬體空白,公司已完成高功率C02(二氧化碳)雷射器的基礎研發。這是EUV光源的“發動機”,不僅可用於驅動產生EUV,也可用於航空和汽車領域板材切割與銲接。朗道科技已經與國內龍頭汽車品牌進入商業化訂單探討交流階段。

而朗道科技的終極目標,始終是研發出可應用於先進光刻的高功率LPP-EUV光源系統。王豪為此制定了清晰的“三步走”計畫:第一步,盡快完成轉化效率超過5%的低功率驗證;第二步,用三年時間實現瞬時百瓦等級光源系統;第三步,協同供應鏈成長,計畫兩年更新出穩定的工程樣機。

03. 累計達數千萬融資建立中國的EUV生態

歷史上,固步自封、不願向前一步的公司,在後來大多落於人後。

昔日晶片巨頭英特爾因固守DUV技術而在先進製程競賽中掉隊,而當時僅出動小團隊的ASML,卻因押注EUV贏得了未來。

在創辦朗道科技的過程中,王豪深刻地意識到,中國必須向前一步,建立自己的EUV生態。“沒有EUV光源,光刻技術就無法前進。即使能設計出最精密的晶片,也無法被製造出來,中國半導體將永遠受制於人。”

幸而,這條產業鏈上越來越多的同伴參與進來。

2025年初,朗道科技參加張江高科895創業營公開路演。作為最後一位出場者,王豪擲地有聲地說道:“這或許是本次路演的尾聲,但我希望它是中國EUV事業的開始。”這句話瞬間點燃了現場。最終,朗道科技憑藉其紮實的技術和產業願景,一舉奪魁。

這份冠軍獎勵,不僅為朗道科技帶來了近500平方米的免費研發空間,更是一個至關重要的契機——朗道科技借此收穫了數千萬元天使輪融資。

圖源企查查

今年10月,朗道科技在浦東新區張江高科·矽岸國際舉行開業典禮,正式入駐上海積體電路設計產業園,建立了超過千平的研發實驗室。現場,一束高功率雷射隔空點燃木板,“魔法”在這片熱土上演。

張江高科黨委書記、董事長劉櫻在開業典禮上表示,朗道科技的入駐是張江科學城建構“熱帶雨林式”創新生態的生動實踐。她回憶起第一次與朗道科技團隊在南京研發舊址會面的情景,坦言這個年輕的團隊給了她極大的震撼,“我覺得他們是真正心中有夢,眼裡有光的一群年輕人。”

這是一個生態正在形成的縮影。王豪深知,未來的關鍵挑戰在於“供應鏈建設”與“認知鴻溝的消除”。他必須成為中間人,將EUV的宏大敘事,拆解成一個個具體的核心零部件需求,助力產業鏈企業合力攻堅。

這條道路雖然艱難,但前景廣闊。根據Technavio與Infiniti Research聯合發佈的報告,全球EUV光刻市場正處在高速增長期,預計2023-2028年的復合年增長率將達18.9%,市場規模將從約103億美元攀升至近246億美元,增量空間巨大。這不僅印證了朗道科技所選賽道的前瞻性,也意味著其每一步技術突破,都可能在中國乃至全球市場激起巨大迴響。

歷史的軌跡,總是驚人得相似。或許未來,朗道科技在南京汽車廠的歲月,也會成為後人傳頌的起點。

而隨著一批批不甘落後的中國半導體人持續湧現,那個不再受制於人的明天,正漸行漸近。 (芯師爺)