美媒評價中國組建國產ASML一事：想法很大膽，但是執行起來很困難，有兩個難以踰越的壁壘

2026/03/11

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由中芯國際聯合創始人王陽元、長江儲存董事長&第八屆中國半導體協會理事長陳南翔等人聯合撰寫的《建構自主可控積體電路產業體系》報告已經發佈在中國的《科技導報》上面。

這些處於中國半導體產業一線的從業者們在報告當中提議，建議國內組建一個類似於ASML的公司，整合所有技術去攻克EUV光刻機，然後組建多個大型半導體集團，在EDA工具、製造裝置、配套材料上面與外國企業進行競爭。

參考資料：
建構自主可控的積體電路產業體系
http://www.kjdb.org/CN/10.3981/j.issn.1000-7857.2025.10.00017

美國科技媒體Tom's HardWare對此分析稱，中國半導體產業的這次建議很大膽，思路清晰，但其中還有許多碎片化的問題需要解決。

首先就是裝置問題，美媒認為，即便中國企業開發出了國產先進光刻機，那麼也需要多年時間進行最佳化，提升其整體的經濟性和可持續性。只有當原型機的製造效率足夠高，才能進入下一步的規模化量產。

其次就是製造資料，ASML能成功，很大程度上歸功於製造商常年累計的海量製造資料，這些資料可以幫助企業更好地最佳化產品並開發新裝置，這需要常年的技術積累，也是中國半導體產業需要重點克服的問題。

ASML的初代EUV原型機在2006年交付給了比利時微電子中心進行測試，但是由於該裝置的雷射性能很弱，根本沒辦法製造晶片。後來美國西盟公司開發出了更高性能的雷射，於是ASML就在2010年採用西盟公司的技術，製造了第二台EUV原型機TWINSCAN NXE:3100。

2019年，ASML的EUV光刻機實現量產，開始交付給台積電進行商業化使用。

從2006年至2019年，ASML一直在解決光刻機的製造效率以及量產問題。解決這個問題只靠ASML一家公司是完成不了的，必須要聯合供應鏈以及製造工廠，依照彼此之間的技術資料進行最佳化。

ASML高級技術副總裁喬斯·本肖普在官方資料中表示，當時我們已經掌握裝置的原理，但是我們卻難以實現客戶所需的生產效率。

要記住，客戶的研發階段需要時間，這很重要。在EUV推出之後，晶片製造商需要一到兩個節點才能使這項技術走向成熟，只有成熟掌握其使用方法，才能基於該裝置量產商用產品。

在根據製造資料來最佳化產品之前，首先要完成的工作就是把國產裝置用起來。

中國中科院的陳國良院士，此前在接受採訪時表示：我提出了一個口號，國產機不怕不好用，就怕你不用，只有用了才知道好不好用。你說那裡不行，你提出來，我改。你要是不用，那就因噎廢食了，它永遠不好用。

參考資料：
https://v.douyin.com/NCbaoeE7b6Y/%20kpD:/%2011/04%20N@w.SL%20

陳院士對於國產裝置的認知是非常具有前瞻性眼光的，並且陳院士認為，推動國產裝置發展的前提是你得先用起來，不能看到國外的產品技術成熟度高，就一直拿錢買國外的裝置用，從而忽視國產裝置的發展。

在能獲得國外裝置的前提下，採購國外裝置用是一種合作共贏的模式。但現在國外的許多裝置不賣給你了，你應該怎麼辦？許多國產裝置雖然不如國外的技術先進，但是能在關鍵時期拿出來用。

2025年，有記者再次就國產裝置問題採訪陳國良院士，諮詢陳院士如今的觀點。

陳院士依然肯定了自己當年的想法，並且還表示在技術團隊以外的地方講話，我們應該表揚宣傳團隊做出的貢獻。但是在團隊內部講話，就要經常提出不好的地方讓團隊改進。用這種內外結合的方法，推動國產裝置發展。

參考資料：
https://v.douyin.com/eHWwo1u9xV4/

這就又回到了剛才的問題上，單獨依靠製造企業或者裝置企業自己的力量是無法完成產品最佳化的，必須聯合整個產業鏈一起解決問題。

中國中科院院士、前中科院院長白春禮先生，曾重點分析了中國光刻機與外國光刻機存在的差別。

白院士指出，在六七十年代的時候，中國的光刻機與國外的差距並不大，那時候ASML公司還沒有成立。但是後來進入全球化體系，國外的產品成熟、價格穩定、整體設計也很好，所以我們國內的裝置就發展不起來了。

質譜儀、電鏡這類產品我們都能做，但是國外的產品又好又便宜，很多企業本著經濟性原則，選擇採購國外的裝置。但是現在反過來了，外國企業不賣給我們，那麼好，我們自己就必須做了，這種倒逼機制也許會讓我們的產業更上一層樓。

參考資料：
https://v.douyin.com/4BMDY_rXrTs/ X@m.Dh VLw:/ 09/04

全球化的半導體產業鏈可以推動整個行業發展，也為合作的雙方創造了各取所需的經濟條件，但同時也讓中國本土企業所開發的國產裝置變成了第二選擇目標。

絕大部分企業都會考慮到穩定性和經濟性，優先選擇海外成熟裝置，這就導致國產裝置處於一個不溫不火的尷尬境地。

美國的制裁讓中國晶片產業出現了技術停滯，國產製造裝置也在這種狀態下被推上了風口浪尖。此時的產業鏈才真正意識到國產裝置的重要性，開始大力度推進國產裝置的技術發展，深化國內企業之間的合作。

雖然這個深化合作的時間來的晚了一些，但這是建立在推動國產半導體產業鏈自立自強的前提下所爆發出來的決心。 (逍遙漠)