9月8日,集邦諮詢引述英國《金融時報》:華為在給國產先進DUV光刻機項目當協調方。
上海裝置商Yuliangsheng和國內夥伴,做出了第一台國產先進DUV光刻機。計畫是2026年底前,交付12台。
中芯國際和華為自有產線,已經在測試。目前先從較簡單的晶片跑起,最終目標是先進AI晶片。
距離2026年結束,還剩114天。
01. 為什麼必須繞開EUV
能造EUV光刻機的,全球只有艾斯摩爾一家。美國、荷蘭的出口管制,把EUV擋在貓熊家企業門外。
DUV,是貓熊家企業還能碰到的最先進光刻裝置。
要繼續往前,就得在同一層上多曝光幾次,用次數換密度。
02. 四次DUV曝光,去夠21奈米金屬間距
華為2022年提交了一份專利,2025年底才公開。專利裡寫了一套最佳化後的自對準四重圖案化流程。
按Gizmochina的報導,這套流程能把DUV曝光次數壓到4次,做出21奈米金屬間距。
這個尺寸,落在台積電、三星準備中的“2奈米級”節點區間。後兩家在這個節點上,重度依賴EUV。
華為剛展示的麒麟9030,由中芯國際N+3節點製造。按Gizmochina的分析,華為想從這顆晶片直接跳到2奈米級產品,全程不接觸EUV。
03. 原型機的兩個瓶頸
裝置做出來了,離交付還有距離。
FT說,Yuliangsheng的原型機裡,仍有一部分依賴外國部件。
最吃緊的兩處:投影透鏡、光源。
Yuliangsheng用的透鏡,據稱來自蔡司。
蔡司對FT的回應只有一句:光刻光學產品,只賣給艾斯摩爾。
有消息源稱,這些透鏡或許能通過貓熊家二手市場拿到。
光源環節,日本Gigaphoton和艾斯摩爾子公司Cymer主導著市場。
04. 兩筆投資落在卡點上
華為正在向這兩個環節投錢。
出手的,是華為旗下哈勃,和Shenzhen Yuanzhi Xinghuo基金。標的公司叫Fujian Zhiqi Photonics。
這家公司2022年從福晶科技分拆出來,做超精密光學。福晶科技是深市上市公司,客戶名單裡出現過艾斯摩爾,也出現過華為。
光源一側,哈勃投了北京RSLaser。
FT稱,RSLaser是貓熊家先進DUV光源的主要開發者,也給上海微電子老一代DUV裝置供過貨。
SEMICON China 2026上,上海微電子說,28奈米浸沒式DUV系統處在客戶驗證最後階段。系統用的雷射源,來自RSLaser。
05. 12台,還是5台?
對2026年的交付量,外媒給出兩套數字。
路透社7月底報導,國有Shanghai Aishengna整合了Yuliangsheng和上海微電子的團隊,正牽頭一個項目:2026年約5台,2027年20台。
FT則說,Yuliangsheng的目標,是2026年底前完成12台。
集邦諮詢的轉述裡,兩種說法同時出現。
差別可能只是統計口徑不同。但兩條線指向同一件事:從一台樣機,轉向小批次交付。
06. 良率與成本:最直接的疑問
把DUV曝光用到這個程度,繞不開兩個問題:良率多高,成本多大。
Gizmochina轉述行業觀察者的話:21奈米金屬間距上的四重圖案化,良率可能很低,缺陷率高,成本遠高於EUV單次曝光。
這也是台積電、三星在3奈米以下全面轉向EUV的原因。
FT還提到,中芯國際買下並測試了Yuliangsheng裝置,但主力產線仍在用艾斯摩爾。
07. 禁令在醞釀,份額先降了
同一天,集邦諮詢還掛了一條相關報導:美國可能推動對艾斯摩爾在華DUV銷售與維護服務實施近乎全面禁令。
艾斯摩爾的季度業績裡,資料先有了變化:按出貨地點統計,2026年第二季度,貓熊家佔艾斯摩爾淨系統銷售額的14%。一季度是19%。
08. 年底前,能核對三件事
現在距離年底,還剩114天。
三件事可以核對:Yuliangsheng能否如期交出12台;中芯測試能否從簡單晶片推進到更先進邏輯晶片;路透社那條口徑裡的2027年20台排產,是否仍成立。
如果12台裝置按期投入產線,跑出可用良率,貓熊家對EUV的繞行就不再停留在專利和樣機層面。
到那時,西方再商量給DUV零部件補禁令,面對的就是一條已經在產線上積累資料的國產供應鏈。 (矽基LIFE)
