美國醞釀全面限制艾斯摩爾在華DUV銷售與維護,華為牽頭的國產DUV排到年底12台,艾斯摩爾對華銷售佔比降至14%

AI速讀
面對美國擬全面限制ASML在華DUV銷售與維護,中國正加速國產光刻機突破。據悉華為協調的國產先進DUV項目目標在2026年底前交付12台設備,並嘗試透過技術優化(四重圖案化)在無EUV的情況下挑戰2奈米級節點。儘管面臨透鏡與光源等關鍵零部件的外部依賴及良率成本挑戰,華為正透過旗下哈勃投資布局國產光學與雷射源供應鏈。目前ASML在華銷售佔比已降至14%,中芯國際已開始測試國產設備,這將決定中國半導體產業是否能真正實現脫離西方限制的自主化。

9月8日,集邦諮詢引述英國《金融時報》:華為在給國產先進DUV光刻機項目當協調方。

上海裝置商Yuliangsheng和國內夥伴,做出了第一台國產先進DUV光刻機。計畫是2026年底前,交付12台。

中芯國際和華為自有產線,已經在測試。目前先從較簡單的晶片跑起,最終目標是先進AI晶片。

距離2026年結束,還剩114天。

01. 為什麼必須繞開EUV

能造EUV光刻機的,全球只有艾斯摩爾一家。美國、荷蘭的出口管制,把EUV擋在貓熊家企業門外。

DUV,是貓熊家企業還能碰到的最先進光刻裝置。

要繼續往前,就得在同一層上多曝光幾次,用次數換密度。

02. 四次DUV曝光,去夠21奈米金屬間距

華為2022年提交了一份專利,2025年底才公開。專利裡寫了一套最佳化後的自對準四重圖案化流程。

按Gizmochina的報導,這套流程能把DUV曝光次數壓到4次,做出21奈米金屬間距。

這個尺寸,落在台積電、三星準備中的“2奈米級”節點區間。後兩家在這個節點上,重度依賴EUV。

華為剛展示的麒麟9030,由中芯國際N+3節點製造。按Gizmochina的分析,華為想從這顆晶片直接跳到2奈米級產品,全程不接觸EUV。

03. 原型機的兩個瓶頸

裝置做出來了,離交付還有距離。

FT說,Yuliangsheng的原型機裡,仍有一部分依賴外國部件。

最吃緊的兩處:投影透鏡、光源。

Yuliangsheng用的透鏡,據稱來自蔡司。

蔡司對FT的回應只有一句:光刻光學產品,只賣給艾斯摩爾。

有消息源稱,這些透鏡或許能通過貓熊家二手市場拿到。

光源環節,日本Gigaphoton和艾斯摩爾子公司Cymer主導著市場。

04. 兩筆投資落在卡點上

華為正在向這兩個環節投錢。

出手的,是華為旗下哈勃,和Shenzhen Yuanzhi Xinghuo基金。標的公司叫Fujian Zhiqi Photonics。

這家公司2022年從福晶科技分拆出來,做超精密光學。福晶科技是深市上市公司,客戶名單裡出現過艾斯摩爾,也出現過華為。

光源一側,哈勃投了北京RSLaser。

FT稱,RSLaser是貓熊家先進DUV光源的主要開發者,也給上海微電子老一代DUV裝置供過貨。

SEMICON China 2026上,上海微電子說,28奈米浸沒式DUV系統處在客戶驗證最後階段。系統用的雷射源,來自RSLaser。

05. 12台,還是5台?

對2026年的交付量,外媒給出兩套數字。

路透社7月底報導,國有Shanghai Aishengna整合了Yuliangsheng和上海微電子的團隊,正牽頭一個項目:2026年約5台,2027年20台。

FT則說,Yuliangsheng的目標,是2026年底前完成12台。

集邦諮詢的轉述裡,兩種說法同時出現。

差別可能只是統計口徑不同。但兩條線指向同一件事:從一台樣機,轉向小批次交付。

06. 良率與成本:最直接的疑問

把DUV曝光用到這個程度,繞不開兩個問題:良率多高,成本多大。

Gizmochina轉述行業觀察者的話:21奈米金屬間距上的四重圖案化,良率可能很低,缺陷率高,成本遠高於EUV單次曝光。

這也是台積電、三星在3奈米以下全面轉向EUV的原因。

FT還提到,中芯國際買下並測試了Yuliangsheng裝置,但主力產線仍在用艾斯摩爾。

07. 禁令在醞釀,份額先降了

同一天,集邦諮詢還掛了一條相關報導:美國可能推動對艾斯摩爾在華DUV銷售與維護服務實施近乎全面禁令。

艾斯摩爾的季度業績裡,資料先有了變化:按出貨地點統計,2026年第二季度,貓熊家佔艾斯摩爾淨系統銷售額的14%。一季度是19%。

08. 年底前,能核對三件事

現在距離年底,還剩114天。

三件事可以核對:Yuliangsheng能否如期交出12台;中芯測試能否從簡單晶片推進到更先進邏輯晶片;路透社那條口徑裡的2027年20台排產,是否仍成立。

如果12台裝置按期投入產線,跑出可用良率,貓熊家對EUV的繞行就不再停留在專利和樣機層面。

到那時,西方再商量給DUV零部件補禁令,面對的就是一條已經在產線上積累資料的國產供應鏈。 (矽基LIFE)