#納米壓印微影
2025/01/04
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EUV光刻,迎來挑戰者
2024年9 月,佳能推出了首款商用版技術,該技術有朝一日可能會顛覆最先進的矽晶片製造工藝。這項技術被稱為納米壓印微影(NIL) ,能夠對小至14 納米的電路特徵進行圖案化,從而使邏輯晶片能夠與目前量產的英特爾、AMD和Nvidia處理器相媲美。 NIL 系統的優勢可能會挑戰目前主導先進晶片製造的1.5 億美元機器——極紫外線(EUV) 微影掃描器。如果佳能的預測正確,其機器最終將以極低的成本提供EUV 質量的晶片。 該公司的方法與EUV系統完全不同,後者由荷蘭ASML 公司獨家製造。這家荷蘭公司採用的工藝非常複雜,首先使用千瓦級雷射器將熔融的錫滴噴射成電漿體,發出波長為13.5 納米的光。然後,這種光線通過專門的光學元件穿過真空室,從圖案掩模上反射到矽晶圓上,將圖案固定在晶圓上。 相較之下,佳能的系統(已交付給美國國防部支援的研發聯盟德克薩斯電子研究所)似乎簡單得可笑。簡單來說,它將電路圖案印在晶圓上。