最新突破!晶圓厚度縮小25倍,國產半導體超薄晶圓加工技術,實現12英吋30μm!

對於國產半導體產業來說,由於受到歐、美、日的極限打壓正處於極度艱難的時期,但所謂危也是機;在半導體產業各環節都處於相對不確定的情況下,半導體裝置產業卻是最為確定的環節,也是最受關注的領域。

近日國產半導體材料廠商——晶盛機電,正式宣佈突破超薄晶圓加工技術,實現 12 英吋 30μm (30微米)穩定減薄加工。


對於普通人來說,對於實現晶圓30μm (30微米)減薄可能沒有什麼概念我們可以對比一下普通晶圓厚度情況做個對比就知道,實現這個技術有多難了。

如下表,通常4英吋規格厚度是525μm(525微米),而12 英吋晶圓厚度通常約為 775 µm(775微米)。


也就是說,晶盛機電將12英吋晶圓的厚度縮小了25倍以上;這是國產半導體裝置製造領域一次重大的突破,也為國產半導體產業進一步的技術發展提供了有力的支撐。

那晶盛機電是如何實現晶圓25倍以上縮減的呢?其主要是通過晶盛機電旗下研究所研發的新型 WGP12T 減薄拋光裝置成功實現的。


其實,隨著半導體產業工藝的進步,尤其是晶片設計和封裝都已進入2.5D / 3D 時代,晶圓厚度的要求也越來越薄,這對加工裝置的精度和工藝都提出全新的要求和挑戰。

而晶盛機電作為國產半導體裝置及材料的龍頭,尤其是晶體生長裝置及智能化加工裝置不僅是國產龍頭,也是全球該領域的巨頭。


也就是說,晶盛機電為下游光伏廠商提供了一整套的光伏整線解決方案。但由於近兩年光伏產業的持續低迷,晶盛機電也及時將業務進一步拓展到半導體領域。


也就是說,晶盛機電依託其在單晶爐及晶體生長幾乎壟斷的技術和產業能力,逐步形成了光伏裝置和半導體晶體裝置及材料雙驅動的技術型公司。這大大增強了晶盛機電的抗風險能力和盈利能力,這從去年以及一季度財務狀況可見一斑。

2023年晶盛機電營收179.83億元,同比增長69.04%;歸母淨利潤45.58億元,同比增長55.85% 。要知道,2023年是光伏產業垮塌的一年,作為光伏裝置及材料供應商,能取得如何的營收和利潤增長實屬不易了。


隨著晶盛機電半導體晶圓裝置和技術的進一步突破,其大矽片裝置方面,在8-12英吋晶體生長、切片、研磨、減薄、拋光、CVD等環節已實現全覆蓋和銷售;同時,基於先進製程開發12英吋外延、LPCVD以及ALD等裝置也已量產。

因此,晶盛機電作為一家技術驅動型公司,不僅是光伏裝置領域的巨頭,也是國產半導體裝置及材料領域不可或缺的一部分;其長期的成長和高速增長空間正在一步步打開。 (飆叔科技洞察)