導語 瑞利判據一直是光刻機發展的根本遵循，被光刻產業界奉為「金科玉律」。同時，公開發表的「突破瑞利判據」的理論與實驗學術論文數以萬計，成就了許多的「全球高被引科學家」。那麼，瑞利判據的盡頭，BEUV（Beyond Extreme Ultraviolet，超越極紫外線）光刻機是否會演化成光刻機的大結局？BEUV光刻機的商業化進程又面臨哪些挑戰？ 前言 晶片號稱現代社會的“工業糧食”，是資訊產業的基石。自1958年積體電路誕生之日以來，晶片產業日益成為國家經濟和社會發展的戰略性、基礎性、先導性產業。晶片深刻地改變了人類的生產生活方式，從手機、家電、汽車等以大眾消費者為導向的C端產品，到醫療設備、電力、交通運輸、電信、電子政府等以業務為導向的B端產品，再到國防領域中的衛星、飛彈、航母等裝備，都離不開小小的晶片。所謂的「三百六十行，行行用芯」。