#EUV
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據報導,三星電子和SK海力士正在競相訂購極紫外(EUV)光刻裝置,雙方的投資額均在10兆至20兆韓元之間。由於ASML已正式宣佈2027-2028年EUV裝置供應將出現缺口,因此確保裝置交付已成為擴大先進DRAM規模的關鍵。 據業內人士8日透露,SK海力士和SK海力士計畫從明年開始分階段接收ASML的EUV光刻裝置。SK海力士在3月份宣佈將採購價值約11.95兆韓元的EUV裝置,交付期限為2027年12月31日。由於供應短缺,關鍵裝置的交付周期已延長至此前最長的兩倍,兩家公司正在考慮提前下單。根據實際情況,兩家公司還計畫追加訂單,這增加了資本支出進一步增加的可能性。 三星電子正隨著其在平澤的投資項目不斷增加訂單。去年11月,三星電子宣佈了一項為期五年、總額達450兆韓元的韓國國內投資計畫,其中包括平澤園區第五條生產線(P5),並設定了2028年投產的目標。據悉,P5每座晶圓廠的投資額超過60兆韓元。業內人士預計,P5一期潔淨室工程將於明年上半年完工,屆時將開始裝置搬遷。三星電子已為該生產線訂購了光刻裝置。 EUV光刻裝置使用波長為13.5奈米(nm)的光刻蝕電路,減少了以往需要多次曝光才能完成圖案的多重曝光步驟,從而提高了精度和良率。對於10奈米級的第六代(1c)DRAM等先進DRAM,隨著電路間距的縮小,採用EUV光刻技術的工藝層數也在增加。市場研究公司TrendForce表示,SK海力士計畫在1c DRAM中應用EUV光刻技術超過五層,比上一代產品多兩層。
據TrendForce援引多方消息報導,中國初創公司朗道賽萊克斯(Langdao Silex)在本周於上海舉行的第26屆中國國際工業博覽會上,展示了一款極紫外(EUV)光源原型,輸出功率超過15瓦,90% 的元件為國產,並具備較好的運行穩定性。然而,該公司還需三到五年才能將其技術商業化,且光源本身並不等同於完整的EUV光刻機。 朗道賽萊克斯成立於2024年,創始團隊來自清華大學氣體放電電漿體實驗室。其展示的FlintNano LPP-OXXO系統採用與ASML現代光源相同的雷射電漿體(LPP)技術,通過高能雷射脈衝轟擊微小的加熱金屬液滴產生極熱電漿體,從而輻射出EUV光。該系統配備1000瓦驅動雷射(推測為CO₂雷射),工作頻率為1kHz至20kHz,轉換效率超過2%。其EUV輸出超過15瓦(推測是在電漿體處測量,而非中間焦點,因為該公司尚未展示完整的EUV收集系統),亮度達到100 W/(mm²·sr)。 根據朗道公佈的規格,FlintNano LPP-OXXO可連續運行超過100小時,電漿體穩定性為3% RMS,EUV輸出功率穩定性為5%。這些特性使該系統適用於半導體曝光實驗,但其輸出仍不足以用於高產量晶片生產。對於一台預生產光源而言,“超過100小時”的可用性令人印象深刻,但這一說法目前無法核實。 朗道還在開發FlintMicro-LPP高功率EUV光源,據稱已完成原理驗證,但未披露其輸出功率、轉換效率或工作壽命。從紙面資料看,朗道的光源輸出與西方和日本裝置製造商最早開發的EUV光源相當,但存在一個重要區別:朗道似乎在電漿體處測量EUV功率,而非像ASML那樣在收集器之後或中間焦點處測量。
突破!中國公司展示EUV光源!