作為半導體製程中不可缺少的材料，半導體光阻在半導體製造中扮演了至關重要的角色。目前全球高階半導體光阻市場主要被日本和美國公司壟斷，日本更是佔據全球80%的市場份額，處於絕對領先地位。 但隨著國產半導體產業的進步，以及相關企業自主研發投入的加大，國產光阻取得了令人矚目的突破。 一、EUV光阻經初步驗證 近日，九峰山實驗室與華中科技大學聯合研究團隊，支持華中科技大學團隊突破「雙非離子型光酸協同增強反應的化學放大光阻」技術。