該款光刻膠產品對標國際頭部企業主流KrF光刻膠系列，業內人士認為，其對標產品是“很常用的膠”，門檻不算高。 光刻膠產業化再度傳出利多。 據東湖國家自主創新示範區官網今日（10月15日）消息，近日武漢太紫微光伏科技有限公司（下稱“太紫微公司”）推出的T150 A-光刻膠產品，已通過半導體工藝量產驗證，實現配方全自主設計。 該產品“對標國際頭部企業主流KrF光刻膠系列。相較於國外同系列產品UV1610，T150 A在光刻工藝中表現出的極限解析度達120nm，且工藝寬容度更大，穩定性更高，堅膜後烘留膜率優秀，其對後道刻蝕工藝表現更為友好，通過驗證發現T150 A中密集圖形經過刻蝕，下層介質的側壁垂直度表現優異”。