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前天 13:43
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剛剛,長鑫宣佈,實現微縮工藝新突破

2026年9月20日,長鑫記憶體在世界製造業大會上正式宣佈第五代DRAM技術平台(以下簡稱“G5平台”)實現量產,同步展出基於該平台打造的大容量LPDDR5X新品。該平台工藝水平比肩行業頂尖量產工藝節點,是長鑫記憶體在高端記憶體技術路線上的里程碑式突破,將為全球記憶體產業提供更具創新性、更具供應鏈韌性的解決方案選擇。 核心工藝實現突破性創新 G5平台在關鍵工藝維度實現了多項行業領先的技術突破。依託創新的四重曝光技術把記憶體陣列的有源區半間距微縮至11.95奈米,接近全球最頂尖的記憶體量產平台製程。通過變革工藝流程、採用新材料,記憶體電容深寬比達45:1。開發適配DRAM工藝的高介電常數金屬柵(HKMG)工藝,成功將G5平台核心功能區高度縮小到6762奈米。 研發過程中,長鑫記憶體在現有工藝模組的基礎上,創造了獨特的數字孿生系統,貫穿包括設計、開發、製造、維護等全生命周期的產品研發過程,在這一虛擬研發線中,搭建先進DRAM工藝模型,加速研發處理程序。同時,在介面工程、鞍形鰭式結構、低k間隔層位線等核心工藝上實現突破。
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