SemiAnalysis分析,3D NAND閃存堆疊層數突破300層後,鎢字線在電阻、化學相容性和深孔填充三方面均觸及物理極限,鉬成為強制替代材料。三星已於2024年量產,美光2025年跟進,SK海力士計劃2026年底推出375層鉬工藝產品。預計鉬沉積設備市場2027年銷售額超10億美元。
8月23日,半導體行業研究機構SemiAnalysis在X平台發佈系列推文,闡述3D NAND閃存製造從鎢(Tungsten,W)向鉬(Molybdenum,Mo)轉型的技術邏輯。
3D NAND大約十年前就停止了橫向縮小,轉而靠垂直堆疊層數來提升記憶體密度。但當層數突破約300層後,連接每個記憶體單元的鎢字線(word lines)遭遇了物理瓶頸:電阻過高、基於氟的化學工藝導致漏電,以及在超深孔中無法完成有效填充。
SemiAnalysis在推文表示:「鉬不是一種優化,是300層以上NAND的必選項。」