#面板級TGV
昨天 08:42
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韓國Avaco正式啟用515×510mm面板級TGV中試線,加速玻璃基板裝置國產化驗證
8月11日,韓國裝置廠商Avaco聯合子公司AVATEC宣佈,位於龜尾工廠的大尺寸TGV玻璃基板中試產線正式投入運行,整套產線打通雷射加工、濕法蝕刻、種子層沉積、線上光學檢測完整工藝鏈路,面向AI先進封裝玻璃基板開展全流程工藝驗證,成為韓國本土少數具備面板級TGV完整工藝驗證能力的裝置平台。 中試產線硬體規格:面向515×510mm大面板 該中試產線於2026年上半年完成全部裝置安裝偵錯,基板相容尺寸覆蓋100×100mm小尺寸試樣至515×510mm大面板基板,可匹配當前全球主流TGV研發的面板規格,對標LPKF等海外裝置廠商的面板級工藝驗證平台。 產線並非單一雷射裝置,而是一套整合化驗證體系,四大核心工序全部部署到位:雷射通孔改性、鹼性濕法蝕刻、PVD種子層沉積、全片光學檢測。產線既可以單獨考核單台裝置的性能指標,更重點驗證不同工序之間的工藝銜接、批次重複性,解決大玻璃基板跨工序傳遞帶來的翹曲、對位偏移等量產痛點。AVATEC依託長期顯示玻璃蝕刻與薄膜製程積累,承擔產線工藝運行、穩定性管控工作,把面板製造的工程經驗遷移至半導體玻璃基板賽道。
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