ASML總裁再度回應中國芯,目前沒有任何證據表明中國接近技術突破,並估計中國晶片製造整體落後全球約8年

近日,荷蘭媒體《電訊報》對ASML總裁克里斯托夫·富凱(Christophe Fouquet)及首席財務官羅傑·達森(Roger Dassen)進行了深度專訪,聚焦全球半導體格局與中國晶片產業的發展前景。在談及中國能否突破高端光刻技術封鎖時,富凱態度明確:“目前沒有任何確鑿證據表明中國已站在EUV光刻機技術突破的臨界點。這是一項耗時十年以上的系統工程,絕非短期衝刺所能達成。”

他進一步指出,自2018年起,中國便未能獲得任何一台ASML的極紫外(EUV)光刻裝置。“從技術演進角度看,這意味著中國在EUV相關製程能力上,整體落後全球先進水平大約8年。”儘管如此,富凱也承認,中國在持續高強度投入下,已在部分中低端光刻領域取得實質性進展,例如乾式ArF光刻機的研發與應用。

合作曾深入,出口管製成轉折

回顧歷史,ASML與中國半導體產業的合作由來已久。早在2002年,中芯國際便開始採購ASML的i線和DUV(深紫外)光刻機,雙方建立起長期穩定的技術與商業紐帶。為保障服務響應,ASML還在上海周邊設立辦事處與備件中心,形成完整的本地化支援體系。

2018年,合作迎來關鍵節點——中芯國際以1.2億美元簽約採購中國大陸首台EUV光刻機,標誌著其向7奈米及以下先進製程邁出重要一步。然而,這一交易很快成為中美科技博弈的犧牲品。在美國政府持續施壓下,荷蘭當局於2019年撤銷了該裝置的出口許可證,導致這台本應交付中國的EUV光刻機至今滯留海外。

據知情人士透露,時任ASML CEO彼得·溫寧克(Peter Wennink)曾多次向美方表達異議,強調ASML作為荷蘭企業秉持中立原則,不應被捲入地緣政治爭端。他還警告稱,過度封鎖將迫使中國加速建構自主產業鏈,“把原本流向我們的訂單,變成扶持本土裝置商的資本”。

出口管制的“雙刃劍”效應

對此,CFO羅傑·達森分析指出,美國主導的出口管制本質上是一場“技術代差管理”策略。“部分政客希望維持一個‘可控的落後’——既不讓中國追上,又不至於逼其徹底脫鉤。”但他坦言,這種平衡極其脆弱。一旦差距拉得過大,反而會激發中國在核心技術上的全面自主化決心。

事實上,近年來中國在光刻領域的投入已呈指數級增長。國家大基金、地方產業基金以及頭部晶圓廠紛紛加碼半導體裝置研發。儘管路透社等外媒曾援引“匿名消息源”稱中國已研製出EUV光刻原型機,但截至目前,尚無權威機構或企業公開驗證其性能參數或量產可行性。

富凱對此回應稱:“我們注意到相關報導,也理解中國在無法獲取先進裝置的情況下選擇自主研發是合乎邏輯的。但必須清醒認識到,從原型機到可穩定量產、具備高良率的商用裝置,中間隔著巨大的工程鴻溝。”他以ASML自身發展歷程為例:公司於2006年推出首台EUV原型機,歷經12年技術迭代、數千名工程師協作、數百億美元投入,才在2018年實現真正意義上的量產應用。

未來格局:競爭與共存並存

儘管短期內中國難以撼動ASML在高端光刻市場的壟斷地位,但ASML高管層並不否認中國崛起帶來的長期影響。“中國擁有全球最大的晶片消費市場,也有強大的製造基礎和政策執行力,”達森表示,“即便在受限條件下,其在成熟製程(如28奈米及以上)的產能擴張和技術最佳化,仍將深刻重塑全球供應鏈。”

富凱最後總結道:“我們尊重每一個國家發展科技的權利。但技術進步沒有捷徑。EUV不是買來的,也不是喊口號就能造出來的——它需要時間、生態、人才和無數次失敗後的堅持。中國正在走這條路,而這條路,我們走了三十年。”

在全球半導體產業進入“新冷戰”時代的背景下,ASML的態度既顯謹慎,亦帶一絲無奈。而中國,則在封鎖與自主創新的夾縫中,堅定地邁向下一代光刻技術的無人區。 (晶片研究室)