美國議員提出新制裁法案:只要是ASML製造的DUV光刻機,不允許交付給中國企業,造成熟晶片也不行

01 前沿導讀

據《聯合早報》新聞指出,美國國會議員提出新法案,要求收緊在製造裝置上面的出口管制,重點約束荷蘭ASML、日本東京電子等企業對華出口。

新法案包括禁止相關企業工程師在中國部分地區對已有的裝置進行維護和維修服務,而且還要在現有的技術管控上再次將範圍擴大,對ASML製造的所有浸潤式DUV光刻機實施更加嚴格的限制。

目前荷蘭僅要求ASML對部分先進的浸潤式光刻機申請出口許可,並且針對的客戶群體有限,並沒有覆蓋所有中國客戶。

新法案的落地,將會把覆蓋範圍拉到最大,完全禁止DUV光刻機與中國企業之間的聯絡,極大壓縮ASML中國區的生存空間。

02 持續施壓

2018年,就在美國重啟對中興的制裁之後,中芯國際用1.2億美元的價格緊急向ASML訂購了一台EUV光刻機。

這個採購價格相當於中芯國際前一年的全年利潤,也在側面凸顯出了EUV光刻機對於中國晶片製造業的重要程度。沒有這台裝置,中芯國際的國產7nm工藝就無法進入測試階段,更不要說實現量產了。

EUV光刻機屬於歐洲企業製造的晶片產業最頂級的工業裝置,需要受到《瓦森納協議》的影響。

《瓦森納協議》是由美國主導建立的制裁條例,禁止歐美地區的企業未經允許將最先進的科技裝置運送到中國本土企業手中。

不過ASML發言人表示,此次合作並沒有違反瓦森納協議,所有客戶都是平等的,而且中芯國際是由美籍華人張汝京所建立,其股東構成多元化,業務類股面向全球,EUV光刻機出口到中國完全沒有問題。

但是時至今日,這台EUV光刻機不但沒有交付給中芯國際,反而還連帶著上一代浸潤式光刻機也被實施限制。

根據復旦大學一帶一路及全球治理研究院發佈的資料顯示,2019年12月,瓦森納協議進行了新一輪修訂,新增了對計算光刻軟體、12英吋大矽片切磨拋技術的出口管制。

隨後美國工業和安全域便依照瓦森納協議新增加的項目,對中國晶片產業實施更加嚴厲的制裁措施。

2020年,被美國列入實體清單的中國企業將無法獲得製造10nm及以下技術節點的產品或技術。

2021年,美國聯合歐洲、日本、韓國、台灣企業在內的64家半導體供應鏈組建美國半導體聯盟(晶片四方聯盟),開始在供應鏈層級對中國自主晶片實施出口管制。

2023年,日本宣佈擴大半導體製造裝置的對華出口管制,將涉及晶片製造的6大類23種裝置事實限制。同年,ASML發佈公告稱,對於部分敏感的中國晶片企業,將無法獲得NXT:1970i及以上型號的浸潤式光刻機。

從整個半導體產業的發展歷史上面來看,美國對中國晶片產業實施的制裁力度是巨大的,也是持續時間最長的,同時也是影響最深遠的。

如果將中國晶片這些年受到的制裁措施,放在其他國家企業身上,那麼沒有人能夠頂住如此大規模的“制裁轟炸”,但是中國企業不同。

中國企業不但掌握了7nm晶片的國產化製造,而且還在光刻機、矽片、製造裝置、製造材料等多個領域實現了跨越式發展。

03 尋求突破

據ASML官方近幾年發佈的聲明表示,EUV是被完全禁止出口給中國企業,那怕是韓國企業在華合資工廠也不允許購買。

而上一代的浸潤式DUV光刻機,中芯國際、華虹這些中國大陸地區的自主企業此前囤積過一批ASML的光刻機裝置,現在已經被禁止向ASML繼續採購浸潤式光刻機。

其他合資企業,例如三星西安工廠、SK海力士無錫工廠、台積電南京工廠可以根據實際情況給予出口批准,並且這些合資工廠也可以獲得來自於美國企業的裝置材料。

為了壓制中國本土企業發展,美國還敦促ASML禁止為中國企業提供裝置的售後維修服務。

但ASML中國區總裁沈波在進博會上表示,從1988年ASML將第一台裝置運到中國之後,中國市場就是ASML的重要客戶市場,中國市場上留存的光刻機與測量台,總裝機數量已經達到了1400台,ASML將會在合規的情況下繼續為中國企業提供服務。

中國市場此前為ASML貢獻了40%以上的銷售佔比,是ASML全球第一大客戶市場。

ASML前CEO彼得·溫寧克在接受國際媒體採訪時表示,禁止ASML與中國市場建立有效的合作關係,這是在損失西方國家的經濟利益。

禁止他們購買ASML的裝置,他們會尋求進步自己開發。一旦中國企業開發出他們自己的製造裝置,那麼下一步便是依靠自主裝置與國際企業展開競爭。 (逍遙漠)