「光刻機之父」林本堅：中國現有設備能造出5nm晶片

中國晶片產業近年來在美國的打壓下，仍展現出了驚人的成就與創新力。最近，一位被譽為光刻機之父的台積電前技術研發副總林本堅，在接受外媒採訪時，對中國晶片產業給予了高度的評價和肯定。

他認為，中國不僅可以利用現有的設備，實現7奈米製程的晶片製造，甚至有可能突破5奈米的技術壁壘。他的這番話，引起了外界的廣泛關注與討論。本文將從以下幾個方面，分析中國晶片產業的現狀和未來的發展前景：

光刻機是晶片製造過程中的核心設備，它可以將電路圖案刻印到矽片上，從而形成晶片的基本結構。光刻機的性能和精度，直接決定了晶片的製程等級和性能。目前，全球光刻機市場的主導者是荷蘭的ASML公司，它擁有最先進的EUV（極紫外線）光刻機，可實現5奈米以下的製程製造。

林本堅是台積電的前技術研發副總，他在光刻機技術的發展上，扮演了關鍵的角色。他被譽為浸潤式光刻機之父，是因為他在2000年提出了浸潤式光刻機的概念，這是一種利用水層來增加光刻機的分辨率的技術，可以實現90奈米以下的工藝製造。當時，日本的佳能和尼康佔據了光刻機市場的絕大部分份額，他們都使用的是乾式光刻機，對於浸潤式光刻機的技術並不感興趣。林本堅和台積電選擇了和ASML合作，共同研發浸潤式微影機。2008年，ASML的浸潤式光刻機成功問世，打破了日本的壟斷，成為了光刻機產業的領導者。台積電也藉助浸潤式微影機的技術優勢，成為了晶片代工產業的佼佼者。

中國晶片產業在光刻機技術上，一直處於落後的狀態，主要依賴進口的設備。由於美國的製裁和限制，中國很難獲得最先進的EUV光刻機，只能使用較落後的193奈米光刻機，限制了中國晶片的製程水準和性能。然而，中國晶片產業並沒有放棄，而是透過自主研發和創新，實現了一些突破和進步。

首先，中國在晶片製造的其他環節，都已經取得了顯著的成就。例如，刻蝕機是晶片製造過程中的另一個重要設備，它可以將光刻機刻印的圖案，轉化為實際的電路結構。中國的中微公司，已經研發了達到5奈米等級的蝕刻機，居於全球領先水準。這些環節的突破，為中國晶片的製程提升，打下了堅實的基礎。

其次，中國在光刻機技術上，也有了一些創新與嘗試。例如，華為在2020年發布了麒麟9000S晶片，這是一款相當於7奈米製程的晶片，但是它並沒有使用EUV光刻機，而是使用了193奈米光刻機，透過多層曝光的技術，實現了高密度的電路圖案。這種技術雖然複雜且耗時，但卻展現了中國晶片產業的韌性和獨創性。林本堅就是在看到了麒麟9000S的發布後，認為中國有可能利用現有的設備，實現5奈米製程的製造。

美國一直視中國晶片產業為其最大的競爭對手和威脅，因此採取了各種手段，試圖阻止中國晶片產業的發展。美國的主要策略是，透過制裁和限制，切斷中國晶片產業的供應鏈，尤其是光刻機的供應。美國向荷蘭施壓，要求不要向中國出口EUV光刻機，甚至連2000i光刻機，也被美國阻撓。美國也對中國的晶片企業，如華為、中芯國際等，實施了出口管制，禁止它們使用美國技術的晶片和設備。

中國對美國的打壓，採取了積極的因應措施。一方面，中國加大了對晶片產業的投入和支持，鼓勵國內的晶片企業，加速自主研發和創新，提高晶片的品質和性能，減少對外部的依賴。另一方面，中國也積極尋求國際的合作和交流，與其他國家和地區的晶片企業，建立良好的合作關係，共同應對美國的威脅和挑戰。例如，中國和荷蘭的光刻機合作，就是一個成功的案例。在華為發布麒麟9000S後，荷蘭政府突然放鬆了對ASML的出口限制，允許其向中國出口更先進的2000i光刻機，這對中國晶片產業來說是一個巨大的利好。

中國晶片產業在追趕矽基晶片技術的同時，也沒有忽略其他類型的晶片技術的發展。中國在小晶片技術、量子晶片技術、光電模擬晶片技術等方面，都有了一些突出的成果與創新。

小晶片技術是指利用奈米材料和微機電系統技術，製造出尺寸極小的晶片，可應用於生物醫學、環境監測、智慧穿戴等領域。中國的中科院微電子研究所，已經研發了世界上最小的晶片，只有0.15毫米，相當於一粒鹽的大小，可以在人體內部進行檢測和治療。

量子晶片技術是指利用量子力學的原理，製造出具有量子特性的晶片，可以實現超強的運算能力和資訊安全性。中國的清華大學、中科院等機構，都在量子晶片技術的研究上取得了重要的進展，例如實現了量子糾纏、量子隱形傳態、量子模擬等重要的量子操作。

光電模擬晶片技術是指利用光電子元件，模擬出複雜的物理現象與數學運算，可應用於人工智慧、大數據分析、神經網路等領域。中國的清華大學，近日發表了一項光電模擬晶片（ACCEL），它可以模擬出高維度的非線性動力學系統，可以用來研究混沌、同步、耦合振盪等複雜的物理現象。

中國晶片產業在美國的打壓下，仍展現出了驚人的成就與創新力。林本堅身為光刻機之父，對中國晶片產業的評價與肯定，更是增加了中國晶片產業的信心與動力。中國晶片產業不僅在矽基晶片技術上有所突破和進步，也在其他類型的晶片技術上有所探索和嘗試。中國晶片產業的發展，不僅對中國的科技和經濟有著重要的意義，也對全球的晶片產業和技術有著正面的影響和貢獻。（李光談事）