#A16工藝
2026/08/19
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人類最尖峰的競爭:台積電 A16 工藝實現背面供電相容,在埃米級競賽中再進一步
台積電還在贏 韓媒 ETNews 8 月 18 日報導,台積電已成功開發並驗證了業界首個採用“超級供電軌”(Super Power Rail,SPR)背面供電技術的埃米級 CMOS 平台 A16。這一突破的核心在於,A16 在引入背面供電的同時,保留了此前 N2P 工藝的柵極密度與設計靈活性(NanoFlex),實現了與現有設計生態的高度相容。 隨著半導體工藝向 2 奈米及以下演進,晶片內部的“交通問題”日益嚴峻。在傳統晶片中,供電線路與訊號線路共同擠在晶片正面:工藝越微縮,兩條線路在狹窄空間中的相互干擾就越嚴重,導致布線擁塞加劇、電阻增大,進而引發電壓下降(IR Drop)問題。 背面供電技術正是為瞭解決這一瓶頸而生——將供電網路移至晶片背面,為正面訊號布線騰出空間。然而,這一技術路線長期面臨一個難題:要改為背面供電,通常需要對電晶體佈局和單元結構進行大幅改動,往往意味著要犧牲部分現有的設計庫和工藝經驗。
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