#SPEA填銅
SPEA填銅新工藝取得突破,TGV玻璃基板量產良率迎來提升契機
近日,韓國先進封裝企業Kools正式對外發佈SPEA(Self‑Propagating Electrode Architecture,自蔓延電極)底部向上填銅新技術,有望破解長期困擾行業的高深徑比TGV通孔電鍍空洞難題,為大板級玻璃基板產業化再添一塊重要拼圖。該技術將於8月27日在韓國水原舉辦的CPO與先進封裝產業論壇做完整公開報告,引發全球算力封裝產業鏈高度關注。 傳統電鍍方案痛點突出,良率長期制約商業化 當前TGV(玻璃通孔)基板最主要的工藝卡點已經不再只是雷射打孔,而是通孔金屬化與填銅環節。傳統的全孔側壁電鍍模式,電流從基板兩端匯入,高深徑比微孔內部電場分佈極不均勻。行業公開測試資料顯示,當通孔深徑比達到20∶1時,常規電鍍方案完整填孔良率普遍僅62%‑71%,孔內容易形成2‑8μm尺寸的空洞缺陷。空洞不僅降低導電性能,在‑55℃~125℃熱循環可靠性測試中,銅與玻璃熱膨脹係數差異還會造成應力集中,經過500次循環後,樣品失效機率可達27%以上。 大板級(600×600mm以上)面板級封裝路線,單塊基板TGV通孔數量可達數十萬顆,只要少量通孔出現填孔不良,整塊基板就會報廢。有測算顯示,如果填孔良率停留在75%附近,玻璃基板綜合製造成本將比傳統有機載板高出120%以上,難以實現商業化落地。長期以來,國內京東方、長信科技、沃格光電、鑫景等企業搭建試點線時,同樣遇到電鍍良率不穩定的共性難題,填銅工藝被視作必須自主攻關的關鍵環節。