#自主研發
歐洲高級專家:就連工業實力頂尖的德國都沒有光刻機,中國哪來的勇氣去研發自主設備?
01. 前沿導讀根據上海微電子公司的負責人賀榮明先生,在先進事蹟的報告會中表示:當我提出我們中國人要做自己光刻機的時候,那種外國專家的眼神除了敬仰,多多少少帶有對我們科技人員的不屑和蔑視。甚至有歐洲的高級專家,非常嚴肅地丟給我一句話,中國人要做光刻機,就是給你們全套圖紙,你們也做不出來。世界工業看歐洲,歐洲工業看德國。德國孕育了梅賽德斯奔馳、巴伐利亞發動機製造廠以及奧迪這三大頂級的豪華汽車品牌,並且還同時擁有被譽為“上帝左手”和“上帝之眼”的西門子和蔡司。連工業實力如此強大的德國都沒有製造出光刻機,中國企業到底哪來的勇氣去研發光刻機?02. 設備發展賀榮明先生在談到我國光刻機業務時,用「不堪回首」四個字來概括曾經國產光刻機的技術研發時期。2002年,上海微電子公司剛成立的時候,我們沒有充足的人才團隊,沒有完善的技術積累,也沒有配套的產業供應鏈。賀榮明先生帶領自家的技術團隊去找歐美國家商談合作,但是歐美企業對於中國人造光刻機這件事持懷疑態度,並且其認為光刻機設備是高精度設備,產業技術一直被美國、荷蘭、日本這三個國家把控,中國想要在這三個國家的競爭當中成為第四股力量,無異於是說笑話。賀榮明先生在大會中表示,在受到歐美企業的冷眼之後,自己和團隊的自尊心受到了極大損傷,同時整個研發團隊也非常不服氣。在回國之後的很長一段時間內,技術團隊都是帶著一種賭氣的心思在發展產業技術,這也為後續中國光刻機的成功點燃了火種。2007年,上海微電子公司成功將光刻機的第一束光源曝光了出來。2009年,首台國產光刻機的樣機製造完成,實現了國產設備的製造大躍遷。上海微電子公司開發的第一款國產曝光機是SSB200系列,主要應用於AMOLED和LCD顯示器的製造。隨後又開發了SSB300系列的步進式光刻機設備,應用於2-6吋基底的光刻領域,可滿足Mini LED、MEMS感測器等產品的製造。真正讓國產光刻機打出名氣的產品,是第三代的SSB500系列光刻機。此系列產品應用於先進的晶片封裝領域,可滿足於Flip Chip、Fan-In、Fan-Out WLP/PLP、2.5D、3D等多種封裝形式。賀榮明先生也在大會上面,重點強調了在先進封裝領域的國產光刻機。賀先生說:當我們在先進封裝領域,設計了第一台國產光刻機,戰勝競爭對手,並且被IC行業的台灣客戶所接受的時候,台灣客戶滿懷真誠的對我說:'真沒想到我們中國人也能做出光刻機,我作為中國人感到很自豪! '03. 自主技術根據中國青年網轉載《解放日報》的專訪內容表示:賀榮明先生在接受記者採訪時,直言不諱的說到:“歷史賦予了我們這群人研發中國光刻機的任務,我們也就不該再想別的了。有一段時間,我看著工程師辭職去金融企業,心裡真是著急,我們國家怎麼能離開高端製造業?”如今的上海微電子公司,員工多達數千人,超40%的員工具有碩士以上學歷,其平均年齡只有34歲。其中既有一批國際視野的工程師團隊,也有一群技能嫻熟的工匠團隊。賀榮明先生對此表示稱,我們有責任讓年輕一代超越我們,接替我們繼續為國家的高端製造業拚搏前進。參考資料:十幾年就做一件事:"智"造中國自己的光刻機_中國青年網http://news.youth.cn/jsxw/201706/t20170628_10183028.htm根據北京電子學會發布的專欄報告指出:光刻機算得上是人類在工業設備領域的集大成者,其製造難度高、所需供應鏈體系龐大,只有少數幾家公司能夠掌握製造技術。DUV浸潤式微影機的售價約為7,000萬美元,EUV的售價是DUV的兩倍,上升到了1.5億美元。而最新的High-NA EUV光刻機,其售價又是上一代EUV光刻機的兩倍,超過了3.4億美元。參考資料:公眾號:北京電子學會全球頂尖的光刻機幾乎都來自荷蘭,還有那些國家能造?國際層面不斷推出新產品來延續摩爾定律,而中國的浸潤式DUV和EUV光刻機還未正式對外公佈,現階段的光刻機仍是限制中國晶片發展的核心難題。ASML能成為光刻機產業的最大贏家,其核心原因有兩點。一是ASML處於中立位置,服務全球客戶,可獲得包括美國在內的全球科技力量。二是ASML吸收了全球各行各業的頂尖人才,ASML的研發人員數量佔總員工數的40%左右,並且許多技術都會外包給其他合作商,既深化了產業合作,又提升了研發效率。中國企業在被美國封鎖產業鏈的情況下,依然開發出來了最新一代的乾式光刻機,將設備解析度提升到了65nm,推動中國光刻機產業再次實現技術躍遷。其開發自主光刻機的核心動力,就是來自海外國家的科技壓制。想要不被欺負打壓,唯一的方法就是掌握自主可控的科技實力。
新凱來這次是相當硬氣了
2025年3月底,SEMICON China展會(上海國際半導體展覽會 )在上海舉行,其中,一家名為新凱來的企業展台吸引了大量參觀者,直至展會閉幕前仍人流不斷。據悉,這家成立三年多的公司展示了30餘款半導體裝置產品圖片,涵蓋工藝裝備與量檢測兩大領域。展台工作人員表示,所有裝置已進入量產階段,且大部分核心零部件採用自主研發技術。新凱來的突然亮相引發了全球半導體市場波動,具體的技術細節我們不多論述,但該公司產品很大機率涉及半導體晶片14奈米至5奈米製程的關鍵工藝。《日經亞洲》在報導中指出,這家深圳企業正在開發多種裝置以應對美國出口管制帶來的挑戰。市場資料顯示,此消息發佈後,荷蘭光刻機製造商ASML股價從700美元一度觸及至578.51美元,同期輝達股價也從120美元降至最低86.62美元。新凱來的出現標誌著中國半導體裝置產業正在加速自主創新,推動國內晶片供應鏈安全建設進入新階段。有媒體報導稱,新凱來脫胎於華為2012實驗室的“星光工程事業部”,該部門曾專注於半導體裝置研發。但企查查資料顯示,新凱來技術於2021年8月成立,註冊資本15億元。股權結構顯示,公司最終控制方為深圳市國資委,通過深圳市重大產業投資集團實現全資控股。2022年6月,新凱來技術出資成立新凱來工業機器,註冊資本10億元,持股95.65%,該子公司正是此次參展的主體。資金支援方面,深圳市發改委副主任朱雲在2024年10月公開表示,深圳已設立38只積體電路相關基金,總規模超過1000億元。同時,百億級深圳市半導體與積體電路產業投資基金正在加速設立,多個積體電路項目已獲批地方政府專項債支援。新凱來展出的產品均採用中國名山命名,包括刻蝕裝置"武夷山"、外延沉積裝置"峨眉山"、熱處理裝置"三清山"、薄膜裝置"普陀山"、"長白山"和"阿里山"等。工藝裝備產品線總裁杜立軍在展會演講中提出"一代工藝,一代材料,一代裝備"的發展理念,強調通過精準能量控制和智能調優提升製造效率。技術層面,新凱來同步佈局軟體和硬體。公司自主開發名為"問源"的模擬軟體,精度已接近國際領先水平。在控制系統上,新凱來完全自研,性能較傳統PLC系統有顯著提升。這不免讓人想到,依靠大量CUDA核心作為底層架構的輝達。CUDA不僅是一個程式設計模型,更是一套完整的開發工具鏈和生態系統。通過軟硬體協同,輝達才建構了自我強化的商業循環。這種全面發展策略顯示出新凱來試圖建立從晶片設計、製造到裝置的完整技術體系,建構自主可控的半導體產業鏈。海關總署資料顯示,2024年中國進口晶片5492億塊,同比增長14.5%,金額達3856億美元,約佔全球晶片市場62%。同期中國半導體裝置進口總額335.1億美元,其中光刻機進口107.2億美元,89%來自荷蘭。這些資料反映出中國半導體產業對外依存度仍然較高。自2019年美國實施晶片限制以來,中國半導體產業持續面臨外部壓力。2023年10月,美國商務部通過"長臂管轄"擴大了ASML對華禁售光刻機型號範圍。根據ASML財報,2024年該公司在中國大陸地區的營收為101.95億歐元,佔總營收36.1%,顯示貿易限制與市場需求間的矛盾。在此背景之下,新凱來採取了獨特的發展路徑,其技術成果的公佈也被贊為“中國半導體的DeepSeek時刻”。清華大學博士龍白滔研究認為,這種結合國資背景與技術創新的模式具有雙重優勢:一方面獲得穩定的資金支援,另一方面集中優秀研發人才攻克技術難題。產品策略上,新凱來一次推出涵蓋工藝裝置和量檢測裝置的完整產品線,打破了傳統裝置廠商單一領域發展的模式。中國半導體產業正通過技術創新突破封鎖,華為已證實可以實現"用14奈米工藝製造性能媲美7奈米"的晶片。當前半導體產業呈現區域化趨勢,美國《晶片法案》、歐盟半導體法案、日本10兆日元支援計畫都試圖重構區域供應鏈。然而,半導體產業的高度專業化和全球化特性決定了任何單一國家難以實現完全自主。中國通過新凱來等企業加速建立自主可控的裝置體系,將對全球半導體產業格局產生深遠影響。 (蔚然先聲)