日經亞洲今日發佈半導體裝置行業前瞻報告,指出受AI晶片產能擴張與先進製程投資激增驅動,全球前五大晶片裝置製造商2026年營收有望實現兩位數增長,增速創2022年以來新高。ASML、應用材料、泛林集團、東京電子與科磊(KLA)集體上調資本開支預期,訂單能見度已延伸至2027年。
報告指出,2025-2027年全球晶圓廠裝置支出預計達1560億美元,較2022-2024年增長42%。其中,AI相關裝置(HBM堆疊、CoWoS封裝、GAA電晶體)佔比從15%躍升至35%,成為裝置商最大增長極。ASML 2026年EUV與High-NA EUV訂單已排滿,應用材料先進封裝裝置營收預計同比增長60%。
從地域看,美國亞利桑那、德克薩斯及紐約州新廠裝置投資增速達45%,超越台灣(28%)與韓國(22%)。台積電Fab 21、三星泰勒廠、英特爾18A廠同步擴產,帶動美系裝置商本土訂單激增。應用材料預計2026年美國市場營收佔比將從25%提升至35%,首次超越中國。
儘管美國出口管制收緊,中國仍是第二大裝置市場,預計2026年佔比約28%(2024年為31%)。成熟製程(28nm及以上)投資維持高位,中芯國際、長江儲存持續擴產,DUV、刻蝕、薄膜裝置需求穩健。但EUV與部分先進製程裝置對華銷售歸零,拖累整體增速。
ASML:2026年High-NA EUV量產,單價3.8億美元,已獲台積電、英特爾、三星合計18台訂單;
應用材料:推出"AI晶片一站式平台",整合GAA、HBM、CoWoS工藝,目標2026年AI相關裝置營收破100億美元;
泛林集團:原子層刻蝕(ALE)裝置訂單翻倍,用於3D NAND 400層以上堆疊;
東京電子:浸沒式塗膠顯影裝置市佔率突破90%,受益於HBM3E產能擴張;
科磊:量測裝置需求激增,3nm以下套刻精度檢測成為新增長點。
裝置商面臨零部件短缺挑戰。德國Zeiss光學元件、美國MKS真空系統交期延長至12個月,可能拖累裝置交付。同時,地緣政治風險猶存——美國對華DUV出口審查趨嚴,若ASML對華銷售受限,全球裝置市場增速或下調3-5個百分點。
費城半導體指數(SOX)2025年漲超35%,裝置類股領漲。ASML市值突破3000億歐元,應用材料、泛林集團創歷史新高。投行高盛上調行業評級至"超配",目標價上調15%-20%。
國內裝置商迎來替代窗口。北方華創、中微公司、盛美上海2025年營收增速均超40%,刻蝕、薄膜、清洗裝置進入長江儲存、中芯國際產線。但光刻機、量測裝置仍存代差,2026-2027年需突破28nm DUV量產與14nm套刻精度檢測。
日經亞洲結論認為,全球半導體裝置行業正經歷"AI驅動的超級周期",兩位數增長有望延續至2027年。對於仍在擴產的中國晶圓廠而言,裝置供應趨緊意味著"搶單"窗口縮小;對於國產裝置商,則是技術驗證與市場份額提升的關鍵兩年。 (晶片行業)