淺談TGV玻璃基板

一、專業定義與核心優勢

1. 基礎概念

TGV = Through Glass Via(玻璃通孔)

TGV 玻璃基板是以超薄特種無鹼硼矽玻璃為基材,通過超快雷射在玻璃內部打出um級垂直通孔,再經金屬填銅、表面精密佈線,實現晶片之間垂直電氣互連的先進封裝中介層 / 載板材料,它是支撐 2.5D/3D 封裝、Chiplet 與 HBM 等先進方案的核心技術,被譽為 "AI 時代的互聯新基建"。

簡單類比:傳統 CoWoS 用圓形矽片中介層,TGV 是方形大板級玻璃中介層(CoPoS 方案),是台積電下一代 AI 晶片封裝核心路線。

CoWoS = Chip-on-Wafer-on-Substrate,中文直譯:晶片 - 矽中介晶圓 - 基板,是台積電獨家商用、當前 AI 算力晶片主流2.5D 先進封裝專利技術。

素材來源:網路;

Substrate,封裝基板 / 載板,特指最底層承載中介層與晶片的有機線路板

Die / Chip:晶圓切割後的單顆裸晶片

Silicon Wafer 矽晶圓:CoWoS 中介層載體

Glass Wafer 玻璃晶圓:TGV 玻璃中介層(CoPoS)

Wafer level packaging (WLP):晶圓級封裝,整片晶圓完成封裝後再切割晶片

HBM = High Bandwidth Memory,高頻寬記憶體 / 高頻寬視訊記憶體,是專為 AI GPU、高性能算力晶片設計的堆疊式高速儲存標準。

資料來源:網路;

據財聯社報導,SK海力士(SK Hynix)2026年6月18日稱,公司已向客戶供應12層HBM4E樣品,該樣品是面向人工智慧(AI)的下一代超高性能DRAM,其引腳速度最高可達16Gbps,

層級關係(從上至下)

裸片 Chip → 矽中介層 / 玻璃中介層(Wafer,晶圓,俗稱矽片) → Substrate(封裝基板 / 載板)載板 → 伺服器 PCB (Printed Circuit Board)主機板

也就是 CoWoS 全稱 Chip-on-Wafer-on-Substrate 裡最後一級的 Substrate。

三層核心架構(由上至下)

CoW(Chip on Wafer)

將多顆異構裸片(GPU/AI 邏輯晶片、HBM 高頻寬視訊記憶體、光引擎等),通過微米級微凸塊,鍵合在一塊圓形12 英吋矽中介層晶圓上;

矽中介層內部依靠TSV 矽通孔實現晶片間高密度、短距離訊號互通。

WoS(Wafer on Substrate)

把承載好晶片的整片矽中介層,整體貼合到下層ABF有機封裝基板,基板再通過焊球連接伺服器主機板 PCB。

簡單類比:矽中介層相當於一塊高速轉接大板,解決GPU和HBM之間超高頻寬資料互動需求,是當前輝達、AMD高端AI晶片的標配方案。

Substrate,封裝基板 / 載板核心作用:

  • 電氣連接:

中介層(矽 / 玻璃)上的高密度微凸塊間距極小,無法直接銲接到主機板 PCB;Substrate 通過內部精細線路做間距擴展,把微米級凸塊轉換成毫米級BGA(BGA = Ball Grid Array,球柵陣列封裝,是當前高端晶片(AI GPU、CPU、SoC)主流的外部封裝互連方案,簡單理解:在封裝基板 Substrate底面排布大量錫球陣列,替代傳統引腳,通過錫球把整個晶片模組銲接到主機板 PCB 上。)焊球,實現晶片與主機板連通。

  • 供電與散熱

承載大電流供電線路,輔助晶片散熱,承載遮蔽、電容電阻無源器件。

  • 應力緩衝

緩衝中介層、晶片、主機板之間的熱膨脹係數 (CTE) 差異,降低高溫翹曲、開裂風險。

2. 四大核心材料優勢(對比矽中介層、ABF 有機載板

a、熱膨脹係數CTE可調:與矽晶片CTE高度匹配,超大尺寸封裝不易翹曲,解決AI大晶片高溫脫粘、可靠性差問題,玻璃基板的熱膨脹係數(3-5 ppm/℃)與矽晶片接近(3-10 ppm/°C),熱穩定性遠超傳統有機基板ABF(17-20 ppm/°C),在高溫環境下翹曲風險低,封裝可靠性高。

b、極低介電損耗:高頻高速訊號損耗遠低於有機基板,適配 800G/1.6T/3.2T 光互聯、AI 超算;

c、超大尺寸面板加工:支援G6/G8大板生產,單批次封裝晶片數量遠高於12英吋矽晶圓,大幅攤薄單位成本;

d、高平整度、高布線密度:可實現2um以下超細線路,支撐 HBM 視訊記憶體堆疊、CPO 光電共封裝高密度互連。

二、核心應用場景

(一)AI 算力先進封裝(最大增量市場,對應文中 CoPoS 技術)
1、台積電 CoPoS 玻璃中介層
替代現有 CoWoS 矽中介層(2.5D/3D 封裝:作為中介層 (Interposer) 連接邏輯晶片與 HBM (高頻寬儲存器),使頻寬提升 3.5 倍,功耗降低 50%),用於輝達、博通高端 AI GPU、多晶片 Chiplet 封裝;2026 年試點產線落地,2027 年規模化量產,單塊玻璃基板可同時承載多顆 GPU+HBM 視訊記憶體堆疊。
2、HBM 高頻寬儲存配套載板
解決多層視訊記憶體堆疊熱變形、訊號衰減難題,適配下一代 HBM4E/HBM5。
3、CPO光電共封裝(TGV應用最快落地)
玻璃基板可同時整合電互連 TGV 通孔 + 光波導,實現交換ASIC與光引擎同基板整合,是1.6T/3.2T及以上交換機標配基材。

(二)高速光通訊模組
800G/1.6T/3.2T 高端光模組、線性直驅LPO方案光引擎基板;
光子晶片、矽光整合載板,降低高頻光電轉換損耗。

(三)射頻與車載高端晶片
6G 毫米波射頻晶片載板(玻璃低損耗優勢突出);
高階自動駕駛域控製器、車載算力晶片封裝基板。

(四)其他前沿領域
量子晶片、微型感測器、高端顯示驅動晶片 Mini/Micro LED 驅動基板(蘋果/Meta AR/VR 核心)。

三、全產業鏈技術壁壘(四大核心卡點)

(一)上游:特種超薄玻璃原片(最高壁壘)
全球高端半導體 TGV 玻璃被康寧、肖特、AGC 旭硝子三家壟斷,國內配方、熔融提純技術差距明顯:
配方壁壘:超低鹼硼矽玻璃,雜質離子含量ppm級,避免高頻漏電;
超薄成型:50–300μm 超薄玻璃,奈米級表面平整度,無翹曲、無劃痕;
產能壁壘:單條產線建設周期 2–3 年,裝置投入百億級,擴產極慢。

(二)中段核心 TGV 加工工藝(量產良率瓶頸)
超快雷射精密打孔
玻璃脆性極強,需打出數萬至百萬個 3–50μm 微米通孔,深寬比≥10:1,不能產生微裂紋、孔徑一致性誤差<0.5μm,雷射功率、光路控制門檻極高,海外超快雷射裝置壟斷。
高深孔無空洞金屬填銅
通孔內壁均勻鍍銅,杜絕空洞、斷層,否則整片基板報廢;電鍍、PVD 鍍膜成套工藝國內成熟度不足,良率長期低於海外頭部廠商。
超細線路 RDL 布線 + CMP 研磨
基板表面製作 2μm 以下超細線路,全域平面化研磨,對潔淨度、裝置精度要求遠超顯示玻璃加工。

(三)下游:裝置與產業鏈配套壁壘
核心裝置:超快雷射鑽孔機、真空鍍膜、填銅電鍍、化學機械研磨裝置高度依賴海外廠商;
標準與驗證壁壘:無統一行業標準,下游台積電、輝達、博通驗證周期 1–2 年,中小廠商難以進入頭部供應鏈;
良率壁壘:海外龍頭量產良率 85% 以上,國內頭部企業僅 60%–75%,成本劣勢明顯。

(四)產業生態壁壘
矽基 CoWoS 產業鏈成熟 20 年,CoPoS 玻璃基板配套測試、封裝流程、可靠性資料庫完全新建,下游封測廠改造產線投入巨大,客戶匯入節奏緩慢。

四、全球龍頭

海外全球龍頭(基材 + 全製程 TGV)
康寧 Corning(美國):全球 TGV 絕對龍頭,壟斷高端玻璃原片,繫結輝達、台積電 CoPoS 項目,市佔約 26%;
肖特 SCHOTT(德國):硼矽玻璃技術最強,全流程 TGV 量產,供貨英特爾、三星;
AGC 旭硝子(日本):大尺寸玻璃基板,面向面板 + 半導體雙線佈局。

三星電機(韓國):與蘋果深度合作,供應 Baltra AI 晶片 T-Glass 基板。

LPKF(德國):TGV 雷射裝置龍頭,TGV 雷射加工裝置全球領先,提供全流程解決方案

(二)A 股產業鏈標的(基材 / 基板製造 / 加工裝置)略

五、行業核心總結

行業邏輯:AI 大晶片尺寸持續放大,傳統矽中介層 CoWoS 受晶圓尺寸、成本約束,TGV 玻璃基板 CoPoS 是台積電官方確定的下一代先進封裝路線;
市場空間:2026 年全球 TGV 玻璃基板規模約186億美元,2026–2030 年 CAGR14.5%,增速遠超有機基板 6%;

國產現狀:基材原片仍被海外壟斷,基板加工環節沃格等實現階段性突破,裝置端國產替代加速,但良率、客戶驗證仍存在 1–2 年差距。

補充:

TSV是什麼?

TSV = Through Silicon Via,矽通孔,在矽晶圓 / 矽中介層內部,垂直打通整片矽片的微米級導電通孔,內部填充銅金屬,實現矽片上下兩面晶片垂直、高密度電氣互連,是 2.5D/3D 先進封裝的核心工藝。

TSV 工作原理

矽片光刻 + 深反應離子刻蝕,打出深度 50–200μm、直徑 3–10μm 垂直深孔;

  1. 孔內壁做絕緣阻擋層,再電鍍填充銅導體;
  2. 矽片上下表面研磨、布線,通孔打通矽片上下電路;
  3. 實現晶片垂直互聯,互連長度從 PCB 釐米級縮短至矽片微米級,大幅降低訊號延遲、功耗。

TSV 核心優勢

超高互連密度:一整片矽中介可製作數百萬根通孔,支撐HBM數萬位寬平行匯流排;

極低訊號損耗、低延遲:垂直走線距離極短,適配 800G/1.6T/3.2T 高頻高速訊號;

縮小封裝體積:替代傳統橫向長布線,實現多顆異構晶片緊湊整合(Chiplet)。

TSV vs TGV(關鍵區分,對應前文 TGV 玻璃基板)

TSV 刻蝕裝置:應用材料、泛林半導體(海外壟斷),代工應用:台積電(CoWoS TSV 全球龍頭)、三星 HBM 堆疊;

一句話總結

TSV 是打通矽晶圓的垂直銅通孔,是HBM堆疊、CoWoS 矽中介層實現高密度晶片互連的核心工藝;台積電下一代 CoPoS 方案會用 TGV 玻璃通孔逐步替代大尺寸場景下的 TSV。 (hwbms)