原型機出光
2026年7月，深圳一處由中央科技委員會管理的保密設施內，一台全國產化EUV光刻原型機被啟動，首次穩定產生13.5奈米波長的極紫外光。
路透社調查確認了這一進展。《印度時報》隨後以“北京的‘曼哈頓計畫’”為題做了報導。這台裝置目前還遠達不到量產機所需的生產節拍和穩定性，但它證明，從光源、光學系統到真空腔體，中國已經貫通了EUV的基本技術鏈路。
自2019年起，美國聯手荷蘭、日本築起出口管制牆。EUV整機被禁售，連DUV浸沒式裝置也要許可證。這個防火牆，現在被敲出了一道肉眼可見的縫。
EUV的壟斷地位
全球每一顆7奈米以下晶片，都繞不開EUV光刻。AI訓練晶片、高超聲速飛行器的任務電腦、旗艦手機的處理器、下一代自動駕駛域控製器，背後全是13.5奈米光的功勞。
當前，全世界僅艾斯摩爾能製造、出售EUV系統。一台整機有超過10萬個零件，需在超高真空裡以亞奈米精度控制高功率雷射去打融化的錫滴，產生電漿體。偵錯一台機器要好幾個月，單台價格約1.5億美元。
過去七年，中國市場完全拿不到EUV。後來連較老的DUV浸沒式光刻機也被逐步收緊出口。中國晶圓廠只能在成熟製程上擴產，或在DUV上用多重曝光強撐。
中國沒有原地等待。一個由國家科技部牽頭，華為、哈工大、上海光機所、清華大學、中科院等大批機構參與的國家項目，在2020年前後進入公眾視野。據路透社當時引用的分析機構估算，整體投入約370億歐元，折合近400億美元。
與一般技術追趕不同，這個項目的目標不只是做一台“仿製版ASML”，而是另起爐灶，建設一套完全獨立於西方供應鏈的EUV技術體系。
光源路線之爭
最核心的差異化，體現在光源。
艾斯摩爾走的是LPP路徑：用高功率二氧化碳雷射持續轟擊熔融錫滴，產生EUV電漿體。中國的團隊主攻LDP（雷射誘導放電電漿體）：先用雷射讓錫氣化，再通過高壓電極放電激發電漿體。
《南華早報》與技術分析平台曾介紹，LDP的理論能量轉換效率是LPP的10倍以上，系統可以做得更小巧，功耗更低，對規模化部署也更友好。
哈工大趙永鵬教授團隊攻堅LDP光源。上海光機所包下高精度反射鏡和光學系統。華為松山湖園區被圈定為後續生產單元的測試區。
據中國國家智慧財產權局資料，截至2026年6月，中國在EUV領域的專利申請累計已超過1200件。專利申請的密度先於樣機出光，這場技術衝刺早有訊號。
還沒跨過去的坎
光源只是第一關。EUV光學系統同樣苛刻。EUV光極容易被所有材料吸收，無法用透鏡，只能靠多層鉬/矽布拉格反射鏡。
蔡司為艾斯摩爾供應的鏡子，每面反射率剛過70%。經過多次反射後，光強衰減嚴重，對每一面鏡子的面形精度要求高到原子等級。掩範本上任何一個小缺陷，都會被忠實地印到晶圓上。
此外，EUV光刻膠必須在極低光照劑量下保持足夠的靈敏度和線條解析度，還要控制散粒噪聲造成的圖像粗糙。材料學上，這是至今未徹底解決的難題。
正因為鏡子、光刻膠、掩模檢測等短板存在，海外分析圈過去多認為，中國那怕做成了光源，也會被卡在後面的環節。
所以，當深圳原型機出光的消息傳出後，《外交官》雜誌在2026年7月的解析文章中寫道，“要從噪聲中分辨訊號”——既肯定中國推倒了第一塊多米諾骨牌，也提醒原型機與每天吞吐上千片晶圓的量產機之間，還橫著巨大的工程鴻溝。
沒EUV，也先跑通了5奈米
在EUV原型機尚未出光前，中國已經用DUV浸沒式光刻機配合自對準四重圖形技術，搞出了5奈米級晶片的規模量產。
華為的昇騰AI處理器，以及一款未公開品牌的內循環手機SoC，都被認定產自這類產線。換句話說，即便EUV來得再晚一些，中國先進晶片的“可用性”已經有了一條備手。
EUV一旦實現量產，捅破的只是大規模、低成本製造的最後一層窗戶紙。
大國博弈與企業影響
圍繞EUV的利益衝突繃得筆直。
美國商務部BIS已將超過140家中國實體放進實體清單。國會那邊，還有人在推MATCH法案，試圖把盟國的出口規則同步拉齊，進一步堵塞DUV和EUV零部件的一切漏洞。
但LDP路線的浮現，讓管制邏輯面臨一個尖銳轉折。一些出口管制律師和分析師指出，這場博弈正從“不讓你買到”滑向“不讓你學會”——而後者從來都更難成功。
企業端的震動同樣不小。艾斯摩爾與蔡司、Cymer等供應商建立了數十年的研發閉環，正面對一個可能帶來代差的新技術範式。若LDP路線真能證明在功耗與效率上大幅領先，艾斯摩爾從光源到整機的迭代路線會遭到根本性衝擊。
根據Yole Développement的資料，2026年全球EUV光刻相關市場約259.3億美元，營收高度依賴台積電、三星和英特爾三家。一旦中國實現EUV自給，不但不會新增訂單，還可能在未來成為成熟製程或中端先進製程市場的價格變數。
台積電至今仍握著全球約56%的EUV裝機量（結合ASML和台積電年報推算），先進製程利潤很大一部分來自對EUV裝置的搶先鎖定和排他。一個裝上了國產EUV的中國大陸晶圓廠陣營，將直接威脅這種稀缺性紅利。
華為東莞基地已排上日程，計畫在2026年第三季度內啟動國產EUV試驗性生產。用《印度時報》的描述，整個項目正在“接近破解EUV的最後密碼”。
快到臨界區了！(矽基LIFE)