8月5日,路透社援引三位知情人士稱,三星電子和SK海力士正在評估中微公司的刻蝕裝置,考慮用於其在中國的記憶體晶片工廠。
測試大約從兩年前開始。兩家韓國企業當時已經意識到,美國對華半導體裝置出口政策隨時可能調整,原有生產線的維護、零部件更換和裝置升級,不能長期依賴一張隨時可能被收回的許可證。
目前,這項評估仍是備用方案,不代表三星和SK海力士準備全面採購中國裝置。三星回應稱,其中國工廠沒有測試中微裝置,也未考慮這樣做;SK海力士拒絕評論,中微公司也沒有回應。
但在半導體裝置行業,進入測試名單本身就不簡單。尤其是測試方來自三星和SK海力士這樣的全球頭部記憶體晶片廠商。
一張長期通行證,被改成了短期許可證
三星在西安擁有NAND快閃記憶體工廠,SK海力士在無錫生產DRAM,並在大連擁有NAND產能。這些工廠大量使用應用材料、泛林集團等美國企業的裝置。
2023年,美國曾給予兩家公司“經驗證終端使用者”資格,允許其在特定條件下向中國工廠輸入受管制裝置,不必逐筆申請許可。
2025年,美國撤銷了這項安排,隨後改為發放最長三年的許可證。表面上看,三星和SK海力士仍能維持中國工廠營運,但確定性已經消失。
晶圓廠不是買完裝置就能一直生產。刻蝕機、沉積裝置和檢測裝置都需要定期更換零部件、更新軟體、維護腔體。生產線一旦缺少關鍵配件,受影響的不只是產量,還包括良率、交付和客戶認證。
對三星和SK海力士來說,問題已經不再是中國裝置是否比美國裝置便宜,而是下一次管制收緊時,工廠還能不能正常運轉。
因此,兩家公司提前測試中微裝置,更像是在準備第二套供應方案。
中微裝置,爭取頭部客戶的認證
半導體裝置採購周期很長。
一台刻蝕裝置進入晶圓廠後,需要反覆驗證刻蝕精度、均勻性、穩定性、缺陷率和連續運行能力。測試通過後,還要重新匹配材料、工藝參數和前後道裝置。
裝置便宜20%,如果影響一個百分點的良率,晶圓廠仍然不會採用。
中微裝置過去主要服務中國客戶,包括長江記憶體等記憶體晶片企業。路透社報導提到,中國裝置在刻蝕、沉積、清洗和平坦化等領域已經縮小與海外廠商的差距,部分產品價格比海外同類裝置低20%至30%。
但三星和SK海力士的測試價值,不只在於價格。
一旦中微裝置通過頭部記憶體廠商認證,裝置的穩定性、工藝相容性和售後能力就有了更強的商業背書。其他晶圓廠在評估中國裝置時,也會少一層顧慮。
半導體裝置行業很看重客戶名單。進入三星、SK海力士的生產體系,往往比拿到一筆普通訂單更重要。
美國裝置廠商失去的,可能是後續收入
美國出口管制最初針對的是中國先進製程能力,如今開始影響外資企業在中國的既有工廠。
這些工廠過去採購了大量美國裝置。裝置安裝之後,廠商還能持續獲得零部件、耗材、維護和升級收入。這部分業務周期長、利潤穩定,是半導體裝置公司重要的收入來源。
許可證的不確定性上升後,韓國企業必然會減少對單一供應體系的依賴。
它們未必立刻拆掉原有美國裝置,卻會在新增裝置、備件儲備和部分工藝環節中,引入更多中國供應商。對應用材料、泛林集團等美國廠商來說,失去的可能不只是新裝置訂單,還有未來十餘年的維護收入。
中國裝置廠商過去很難進入海外晶圓廠,並不完全因為裝置不能用。晶圓廠已經形成穩定的供應鏈,更換裝置需要承擔良率、認證和停產風險,沒有足夠理由,很少有人願意主動調整。
美國出口限制給了客戶一個必須尋找替代方案的理由。
三星和SK海力士的評估
三星和SK海力士評估中微裝置,不等於中國裝置已經全面進入兩家公司的生產線。
測試可能只涉及部分刻蝕環節,也可能用於相對成熟的工藝節點。兩家公司還要考慮智慧財產權、全球產線標準、維護網路以及來自美國的政策壓力。
中國裝置企業的短板也沒有消失。
在光刻、先進量測、部分核心零部件和高端工藝控制領域,中國供應鏈與國際頭部企業仍有差距。中微在刻蝕裝置上取得進展,不代表整條裝置產業鏈已經完成替代。
但採購邏輯已經發生變化。
過去,三星和SK海力士採用中國裝置,主要看成本和本地化服務;現在,它們還要考慮裝置能否在美國停止供貨時,保證中國工廠繼續生產。
供應安全開始進入裝置採購的核心指標。
出口管制給中國裝置留下了試用窗口
美國希望通過控制裝置、軟體和零部件,限制中國半導體產業升級。但管制範圍越廣,晶圓廠尋找替代供應商的動力就越強。
中國裝置企業過去缺少的,恰恰是進入生產線、積累運行資料和改進工藝的機會。
裝置只有安裝到真實產線中,才能暴露穩定性、維護周期和良率問題。客戶越多,執行階段間越長,裝置迭代速度越快。三星和SK海力士即便只採購少量裝置,也可能幫助中國廠商跨過海外客戶認證這道門檻。
路透社援引機構估算,北方華創、中微公司、拓荊科技和盛美上海等企業,2026年合計收入可能超過100億美元,佔中國晶圓製造裝置市場的25%至30%。如果不計算光刻和部份量測裝置,中國供應商的份額可能接近40%,國產裝置不再只停留在實驗室和示範產線。
美國每縮短一次許可證期限,三星和SK海力士就會多測試一家中國供應商。中微能否拿到正式訂單仍未確定,但中國裝置已經被擺上了韓國記憶體巨頭的備選清單。對一個高度依賴客戶驗證的行業來說,這一步並不小。(賽博貓看科技)
