鑽石(diamond,也譯作鑽石)在所有用於下一代電子設備的已知半導體中擁有最高的品質因數(figure-of-merits ),表現遠遠超出了傳統半導體矽的性能。為了實現鑽石積體電路,我們需要開發具有n 通道和p 通道導電性的鑽石互補金屬氧化物半導體(CMOS) 元件,就像為半導體矽建立的元件一樣。
然而,由於n 型通道MOS 場效電晶體(MOSFET) 的挑戰,鑽石CMOS 從未實現。在這裡,我們基於step-flow nucleation 模式製造了具有原子級平坦表面的電子級磷摻雜(phosphorus-doped)n型鑽石外延層。因此,展示了n 通道鑽石MOSFET。 n型鑽石MOSFET在573 K時表現出約150 cm 2 V -1 s -1的高場效應遷移率,這是所有基於寬帶隙半導體的n溝道MOSFET中最高的。
這項工作有助於開發節能且高可靠性的CMOS 積體電路,用於惡劣環境下的高功率電子元件、整合式自旋電子學和極端感測器。
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