從單片SoC到Chiplet:AMD Die Stacking揭秘TSV、HBM與2.5D/3D異構整合路線!

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隨著傳統單片 SoC 在良率、成本與功耗上遭遇瓶頸,AMD 提出以 Die Stacking 為核心的系統整合路徑。透過 TSV 與 Micro-Bump 技術實現 2.5D 與 3D 堆疊,將不同功能的模組(如 CPU、GPU、Cache)採用最合適的工藝分別製造,再由 Interposer 重新整合。此舉不僅解決了大 Die 良率惡化問題,更透過 HBM 大幅提升記憶體頻寬並降低功耗。AMD 預判未來 Interposer 將成為「新的 SoC」,推動產業從 IP 授權轉向 Die 級別的共享,從而重構半導體設計與供應鏈的商業邏輯。

🔷突破大Die良率、先進製程成本與記憶體頻寬三大瓶頸

🔷Interposer連接CPU、GPU、Cache與DRAM,重構下一代SoC架構


如果今天再回頭看AMD這份報告,會發現它其實提前點出了後來很多先進封裝技術的核心邏輯:當單片SoC繼續堆疊功能開始遭遇成本、良率、功耗和記憶體頻寬瓶頸之後,晶片就必須從“單Die整合”走向“多Die協同”。

這次小編想帶大家重新看一遍AMD當年的判斷。從TSV、Micro-Bump、Wafer Thinning,到2.5D Interposer、3D Stacking,再到第一代HBM,AMD已經非常清楚地描繪出一條新的系統整合路線:不同功能採用最合適的工藝節點分別製造,再通過先進封裝重新組合成完整系統。

尤其值得關注的是,AMD當時直接提出“Interposer will be the SoC”。從今天的Chiplet、HBM和異構整合來看,這句話幾乎就是對未來十多年先進封裝演進方向的一次提前預判。下面我們就來看看,Die Stacking究竟為什麼會發生,又將如何重構下一代晶片架構。


一、這份材料真正想說明什麼?

這份文件雖然時間比較早,但從今天回頭看非常有意思,因為其中很多判斷後來都演變成了 HBM、2.5D/3D封裝、Chiplet、異構整合 的核心技術邏輯。

整份報告主要回答三個問題:Die Stacking怎麼做?為什麼現在終於開始發生?它最終會怎樣改變半導體產業?

二、Die Stacking的兩條核心路線:2.5D與3D

AMD首先把Die Stacking劃分為兩種基本形態:

2.5D Interposer Stacking: xPU和DRAM等Die並排放置在Interposer上;

3D Vertical Stacking: DRAM等Die直接垂直堆疊在xPU上方。

二者本質目的都是一樣的:縮短不同晶片之間的物理距離,用高密度Die-to-Die互連替代傳統PCB/封裝級長距離互連。

而其中最重要的基礎技術之一就是 TSV(Through Silicon Via,矽通孔)

AMD指出,TSV本身並不是什麼新概念,真正讓Die Stacking開始具備量產可行性的關鍵,是晶圓減薄和超薄晶圓處理技術的成熟。傳統晶圓厚度約750μm,通過減薄可以做到約50–100μm,從而讓5–10μm級TSV真正具有實用價值。

三、AMD詳細拆解了TSV + Micro-Bump的3D堆疊製造流程

報告前半部分其實是一套非常完整的Die Stacking製造流程教學。

AMD以 TSV Middle 為例,從Front-End製造開始,依次經歷 TSV Deep Etch → Sidewall Protection → Cu TSV Fill → Metallization → Wafer Probe → Carrier Wafer → Wafer Thinning → Backside RDL → Micro-Bump → Carrier Removal → Pick & Place → Underfill → Die Attach → TIM/Lid → Package Test。

其中TSV負責貫穿矽片,實現上下表面的電連接;Micro-Bump負責Die-to-Die連接;Backside RDL負責背面重新布線。

結構圖非常直觀:兩個Die通過Micro-Bump連接,底部Die內部的TSV同時承擔外部I/O以及向頂部Die供電的任務。

因此Die Stacking並不是簡單地“把兩顆晶片疊起來”,而是一整套TSV + Wafer Thinning + RDL + Micro-Bump + Bonding + KGD/Test + Thermal + Packaging的系統工程。

四、3D堆疊真正困難的地方不是某一個工藝,而是大量問題相互耦合

AMD特別強調“No single challenge is an issue but there are many, they are diverse, and they interact.”也就是說,沒有那一個問題單獨看是不可解決的,真正困難的是問題數量非常多,而且彼此影響。

這些問題包括TSV製造、薄晶圓處理、Micro-Bump、Die-to-Die Bonding、Underfill、ESD、電遷移、Wafer Probe、KGD、散熱、翹曲、可靠性、良率、成本以及供應鏈協同。

其中一個很典型的問題就是 ESD與Micro-Bump Pitch之間的矛盾

隨著Micro-Bump Pitch不斷縮小,TSV、PHY、Control、Test和ESD都必須塞進越來越小的面積,但是ESD結構並不像互連一樣容易縮放。

如果ESD無法縮小,就不得不增加Micro-Bump Pitch,最終反過來限制Die-to-Die頻寬。

這說明先進封裝真正追求高密度互連時,瓶頸並不只是TSV尺寸。

五、為什麼Die Stacking終於開始爆發?核心是傳統SoC整合模式逼近瓶頸

這是報告真正重要的部分。

過去幾十年半導體產業的核心邏輯一直是 不斷把更多功能整合進同一顆矽晶片。

從Microprocessor開始,Cache、FPU、Multimedia、North Bridge、GPU、South Bridge甚至IVR不斷進入SoC。

AMD把這一過程概括為Moore's Law is the backbone of integration.

但問題在於,到2013年前後,大量適合使用相似矽工藝的功能已經被整合進去,剩下的越來越多是DRAM、MEMS、True IVR、Storage、Optics等異質技術。

它們並不一定適合與CPU/GPU使用完全相同的先進工藝製造。

因此AMD提出一個非常關鍵的判斷“Si Integration is Running Out of Gas!”也就是傳統單片矽整合正在逐漸遇到瓶頸。

六、先進製程不再適合所有功能,“一顆大SoC”應該重新拆開

這是整份報告最有前瞻性的觀點之一。

隨著製程繼續微縮,一顆晶片裡同時容納High Performance Logic、Low Power Logic、Analog、Cache、I/O會越來越困難,因為不同功能的最佳工藝節點並不相同。

因此AMD認為,未來應該把傳統Monolithic SoC重新拆分:

CPU/GPU → 最適合高性能邏輯的工藝

Cache → 最適合SRAM的工藝

Analog/I/O → 成熟工藝

DRAM → DRAM專用工藝

然後再通過Interposer和3D Stacking重新整合。

報告明確指出,分離Analog等功能可以降低單一Process Node的複雜度,並值得研究“什麼工藝節點最適合什麼功能”。

這實際上就是後來Chiplet非常重要的Best Process for Each Function——不同Chiplet採用不同工藝節點。

七、大Die良率惡化進一步推動Multi-Die SoC

另外一個核心驅動力就是良率和成本

先進節點不斷發展以後 Mask數量增加 → 工藝複雜度提高 → Defect影響增加 → 大Die良率下降。

因此,與其製造一顆巨大的Monolithic SoC,不如把它拆成多個面積更小的xPU Die,再通過Interposer組成Multi-Die SoC。

AMD直接畫出了Traditional SoC → Multi-Die SoC的演進方向,並指出大Die會持續面臨良率挑戰。

這已經非常接近後來AMD自己採用的Chiplet路線。

八、真正迫切的殺手級應用,是Memory Integration

報告用了很大篇幅討論記憶體。

AMD認為計算性能與Memory Bandwidth高度相關,但Memory Bandwidth越高,Memory System消耗的功率也越高。問題在於整個平台的總功耗預算是有限的。

如果記憶體繼續依賴傳統遠距離高速介面,那麼Memory Power不斷上升,最終就會侵佔Compute Power,導致計算性能增長趨於平坦。

所以AMD認為A new DRAM solution is required.答案就是HBM。

九、第一代HBM已經展現出Die Stacking真正的價值

報告已經展示了當時正在Sampling的第一代HBM 4顆DRAM Die堆疊 + Logic Die + 1024-bit Interface + 8×128-bit Channels + Micro-Bump Interface。

HBM最重要的優勢並不是單純提高每Pin速率,而是通過超寬介面 + 較低Pin速率 + 極短互連,實現高頻寬和低功耗。

AMD對比傳統 512-bit GDDR5 @ 8Gbps 與 4×HBM @ 1Gbps,兩者頻寬處於相近量級,但HBM方案的DRAM+PHY功耗顯著降低,AMD在圖中直接標出了大約  的改善。

因此,HBM真正解決的是Memory Bandwidth / Watt。

通過讓DRAM更加靠近Compute,細間距互連可以降低PHY複雜度和I/O功耗,並實現更細粒度的DRAM電源控制。

這套邏輯放到今天的AI GPU上依然成立。

十、AMD最前瞻的判斷:Interposer最終會成為“新的SoC”

報告給出了一個非常重要的架構圖,標題直接寫著INTERPOSER WILL BE THE SOC WITH MULTIPLE 3D COMPONENTS。

也就是說傳統SoC是 CPU + GPU + Cache + Analog……全部製造在一顆矽Die上。

未來SoC則可能變成 Interposer + xPU + Cache + Analog + DRAM + SSD……

不同功能分別製造,然後像“搭積木”一樣在Interposer上重新組成系統。

這樣做可以帶來幾個優勢 降低Process Complexity、減少Mask數量、縮短Process Node開發周期、降低Wafer Cost、提高Yield,並讓不同功能按照自己的節奏升級。

所以從今天的視角來看,這已經非常接近 Chiplet + 2.5D/3D + Heterogeneous Integration。

十一、Die Stacking甚至會改變半導體產業商業模式

AMD最後討論的不只是技術,還討論了產業結構。

傳統SoC時代,一家公司往往需要掌握整顆SoC。後來ARM通過IP授權建立生態,把部分IP設計能力開放出來。而AMD認為,Die Stacking會進一步推動從IP-Level Sharing走向Die-Level Sharing。

不同廠商可以提供不同功能的Die,然後由平台廠商選擇並整合為最終SoC。

AMD甚至預測 Socket Ownership可能從傳統SoC公司逐漸轉移到Platform Companies。

同時,Custom Accelerator進入系統的門檻會降低,從而催生更多專用加速器。

這也是一個非常有意思的判斷,因為它實際上預判了今天圍繞 Chiplet生態、Die-to-Die標準、定製AI Accelerator、異構整合 展開的產業變化。

🏁 小編總結

傳統SoC“所有功能都塞進一顆先進製程大晶片”的整合模式正在逼近經濟性和物理瓶頸。下一階段的系統整合應該把晶片重新拆開,讓CPU/GPU、Cache、Analog、DRAM等功能採用各自最適合的工藝製造,再通過高密度2.5D/3D互連重新組合。(芯聯匯)