#FinFET
從光刻技術發展看半導體技術路線
隨著芯片集成度的提高,對光刻技術提出了越來越高的要求,而光刻技術 的演進,在某種程度上也反映了半導體技術的發展路線。 從1947年第一個晶體管問世算起,半導體技術一直在迅猛發展,現在它仍保持著強勁的發展態勢,繼續遵循摩爾定律指明的方向前進,大尺寸、細線寬、高精度、高效率、低成本的IC生產,正在對半導體產業鏈帶來前所未有的挑戰。 集成電路在製造過程中經歷了材料製備、掩膜、光刻、清洗、刻蝕、摻雜、化學機械拋光等多個工序,其中尤以光刻工藝最為關鍵,決定著製造工藝的先進程度。隨著集成電路由微米級向鈉米級發展,光刻採用的光波波長也從近紫外(NUV)區間的436nm、365nm波長進入到深紫外(DUV)區間的248nm、193nm波長。目前大部分芯片製造工藝採用了248nm和193nm光刻技術。目前對於13.5nm波長的EUV極端遠紫外光刻技術研究也在提速前進。 可以說,隨著芯片集成度的提高,對光刻技術提出了越來越高的要求,而光刻技術的演進,在某種程度上也反映了半導體技術的發展路線。上世紀中葉,IEEE電子和電子工程師協會設立了ITRS組織,該組織每年都會發布一份半導體領域中技術路線圖——ITRS(International Technology Roadmap for Semiconductors)。但在2017年,IEEE停止更新ITRS,並將其重新重命名為IRDS,他們認為這樣可以更全面地反應各種系統級新技術。