01前沿導讀路透社在12月17日刊登了一篇專欄報告,該報告指出中國科學家已經在深圳的實驗室內完成了EUV光刻機的原型機製造。並且該原型機由前ASML工程師參與其中,通過逆向工程的方法完成了EUV的整機製造,預計2030年有望實現用國產EUV製造原型晶片。該內容在國際層面引起了巨大轟動,同時也引起了中國媒體的聲討。上海觀察者網認為,該報告動用了西方媒體慣用的伎倆:內容並非完全虛假,但也不完全真實。西方媒體的手段是將一些資訊拼湊性的連接在一起,從而主動引導你得出相關結論。所以,我們需要對路透社的專欄報告提起高度警覺,其警覺的地方並不在於該媒體說了什麼,而是在於該媒體是怎麼說的。02資訊拼湊我們提取一些關鍵詞:中國國產EUV光刻機、前ASML工程師、逆向工程,然後我們對這些關鍵詞進行分析。前ASML工程師這個資訊是真實發生的事情,該工程師名叫林楠,2015年至2021年在荷蘭ASML研究部擔任研發科學家。2021年至2025年9月,林楠在上海光機所擔任雷射科學與技術實驗室副主任。10月份,林楠離開上海光機所,在北京航空航天大學擔任積體電路科學與工程學院教授。林楠博士曾經與荷蘭半導體觀察者、《新鹿特丹商報》記者馬克·海金克一起接受了觀察者網旗下心智對話欄目的專訪。在訪談當中,主持人對二人發起提問:其他企業是否可以效仿ASML的成功經驗,複製出一套全新的光刻機體系?馬克·海金克對此表示即便你瞭解了光刻原理,並且擁有了製造圖紙、製造材料、所需零部件,你也很難將其製造出來,況且也沒有圖紙給你看。你必須要保證每個零部件之間相互有效的整合運行,這涉及到大量的工程問題和技術經驗。我們並不是說複製ASML光刻機這條路徑是完全不可能的,但你想要製造出水平不錯並且可以商用的裝置,需要花費很長時間。林楠博士也進行分析稱,對於技術人員來說,如果有選擇的情況下,技術人員不願意再做重複的事情,但問題是在於你有沒有能選擇的條件。單純的技術複製並不是什麼挑戰,很多時候是在浪費工程師的時間。前人已經把很多事情都做了,你重複去做是沒有意義的。如果你想做,那就應該用不同的方式去做。林楠博士的態度很明白,雖然跟隨國外的技術方向發展技術是一條清晰的路徑,但這種方法終歸是別人主導的。想要實現真正的技術跨越,必須要從基礎開始一點點積累經驗,持續深入研究相關的產業技術,只有自己搞懂的整個流程,才能最大限度實現光刻機的自主可控。林楠博士的說法,與路透社發佈的專欄報告存在明顯出入。下面我們來談談逆向工程的問題。03逆向工程在半導體產業的發展史上,確實發生過對光刻機進行逆向工程,然後製造出另一台光刻機的例子,不過這個事情建立在特定的歷史條件下。時間回溯到20世紀80年代,彼時的光刻機霸主是美國的GCA公司(地球物理公司),其次是美國的珀金埃爾默、日本的尼康、佳能再加上荷蘭的ASML。此刻的ASML並沒有太大的名氣,也沒有什麼拿得出手的產品,光刻機的產業競爭變成了美日兩國企業的競爭。日本通產省牽頭,推出了超大規模積體電路計畫(VLSI)。尼康、佳能、東芝、電氣株式會社(NEC)均是該計畫的扶持企業。由於尼康本身就是傳統光學技術起家,所以直接承擔了日本光刻機的研發項目。日本NEC是美國GCA公司的客戶之一,GCA的服務經理肯·皮恩在這個時期接到了日本NEC的求助,NEC購買的光刻機出現當機的情況,要求皮恩進行技術分析。皮恩帶領工程師來到了日本NEC公司,在進行技術修復的過程中,皮恩發現光刻機存在被私拆的痕跡。皮恩私下調查發現,NEC公司允許尼康對購買來的美國光刻機進行拆解,但是尼康對其拆解之後重新組裝的過程中出現問題,導致光刻機當機,這才求助於美國GCA。1981年,尼康發佈了NSR-1010G步進式光刻機。經客戶反饋,該光刻機與美國GCA的光刻機在架構、晶圓台、對準系統等多個技術領域一模一樣,整個產業都將尼康的NSR-1010G光刻機認定為美國光刻機的複製品,但是美國GCA管理層對此卻毫不在意。甚至有美國客戶將尼康抄襲美國技術的檔案傳送給GCA,GCA也對此嗤之以鼻,並表示日本企業就算抄襲了美國技術,那麼他們也只能學到皮毛,製造出來的產品根本比不過美國。尼康能賣出貨去,完全是因為日本政府要求企業支援國產裝置,所以尼康的光刻機被內部消化了。但是隨著技術的發展,日本企業佔據上風,ASML也憑藉著PAS系列光刻機打開市場,美國的光刻機產業開始走下坡路。珀金埃爾默被財團收購放棄光刻機業務,GCA則是被矽谷集團收購。2001年,ASML全資收購了美國矽谷集團,將美國光刻機產業納入麾下。逆向工程對於早期的簡單裝置來說是可行的方案,但是隨著產業發展,EUV光刻機進入高精度和自動化,其整機零件達到了幾十萬個,牽扯到全球5000多家頂級供應鏈,涉及到的軟體體系超過億行程式碼。最為重要的,還是來自於ASML的技術專利。ASML與蔡司統治了EUV光刻機超1500項以上的技術專利,這些專利成為了後來者難以踰越的城牆。並且EUV光刻機覆蓋了光學、化學、電學、機械、材料、控制、軟體等多個基礎工程,機器製造完成只是個開始,其真正的難點是將裝置市場化,然後保證穩定性和高效率,從而源源不斷地製造晶片進行盈利。由此可見,路透社的內容在關鍵資訊上面大部分是真實的,但是將這些內容整合到一起,就形成了一種較為空心化的結論,存在過度解讀的情況。對於一些經常關注中國晶片產業的觀眾來說,路透社的內容好像很有道理,但是對於整個中國晶片產業來說,路透社的內容又存在多種不合理的說法。尤其是路透社將逆向EUV這種方法強加給中國團隊,暗示中國團隊採用該技術製造國產光刻機,讓中國企業陷入一種被動的輿論境地。 (逍遙漠)