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中國媒體喊話路透社:不要對中國的科技發展感到焦慮,中國研發光刻機不會搶你們的飯碗
01前沿導讀據《環球時報》報導稱,路透社在近段時間爆料了一個所謂的中國曼哈頓計畫,並且聲稱中國團隊製造出了美國一直對華封鎖的EUV光刻原型機。通篇內容運用“知情人士透露”等虛無縹緲的言論來營造一種緊張的氣氛,其字裡行間表現出對中國科技進步的焦慮,這種焦慮既是不健康的心態,又對中國的科技發展存在嚴重誤解。02研發裝置光刻機一直都是美國對華封鎖的重要項目,最早可以追溯到2018年中芯國際花費1.2億美元向ASML採購EUV光刻機,該裝置預計在2019年左右交付,2021年投入使用。但是直到今日,美國一直對該產品進行出口管制,不允許荷蘭政府給予ASML對華出口的許可。而且美國對光刻機的管控是循序漸進的,最開始封鎖EUV但允許DUV出口。隨著中國企業採用DUV光刻機實現了7nm晶片的製造,美國又開始對DUV光刻機實施限制。大陸地區敏感的先進工廠在2024年不允許獲得1970i及以上的先進浸潤式光刻機,其他成熟工廠以及中外合資工廠視情況給予ASML特定產品的對華出口許可。一邊對中國先進晶片圍追堵截,一邊又向中國企業銷售老舊裝置來保證基礎晶片的產能供應。在這種情況下,中國自主研發的光刻機就成為了國內外重點關注的對象。2024年9月,中國工信部在重大裝備目錄中公佈了國產光刻機的最新進展:193nm波長、解析度65nm、套刻精度8nm的國產乾式ArF光刻機。該裝置較國際最先進的光刻機落後兩代技術,但是對比中國之前90nm節點的光刻機來說,有著明顯技術進步。這也表現出中國對於自主光刻機產業的路徑規劃清晰,其核心理念就是朝著自主可控的方向發展。光刻機是高整合度的複雜工業裝置,其依賴於全球產業鏈的合作。西方媒體一貫的思想就是中國研發先進裝置是為了將產業技術據為己有,從而自己掌握製造先進晶片的能力。但是中國官方媒體對此早就進行了回覆,即便中國在光刻機領域有所突破,那麼也不會改變晶片產業的全球化特性。中國一直強調國際開放合作,中國大陸地區也有大量中外合資的晶片工廠,例如西安的三星工廠、無錫的SK海力士工廠。這些工廠為全球市場提供儲存晶片,也是中國擁抱全球化的最好證明。03產業融合美國的對華制裁單方面讓中國企業與國際合作脫鉤,所以中國才會大力推動自主技術的產業發展。中國在尖端科技上面的發展無論進入到什麼地步,都不會影響對外合作。寧德時代的三元鋰電池,不但供應中國品牌的新能源汽車,而且供應特斯拉、沃爾沃T8、蓮花跑車等面向全球化的車型。並且寧德時代還在積極推動與外資的合作,在國外地區建設合資工廠,將中國技術擴散到其他國家,推動相關地區的能源發展。世界經濟論壇網站曾評論稱,中外(中美)合作是全球科技進步的基石,有超過30%的美國高影響力科研項目都有中國科學家的參與。甚至美國引以為傲的本土高科技企業,也有大量華人群體擔任領導。例如輝達創始人黃仁勳、AMD現任CEO蘇姿丰、英特爾現任CEO陳立武等。華人群體與美國人存在區別,華人群體對於中國本土市場頗有研究,甚至是重點關注。中國市場的規模龐大,而且地域廣闊、資源豐富、交通條件優越,對於先進技術的需求持續增高,這也是輝達不斷遊說美國政府,並且推出多款降級晶片來規避制裁與中國企業合作的主要原因。美國外交政策研究員克里斯·米勒在個人作品《Chip War》中分析稱,中國晶片在先進技術上存在明顯落後,這就導致了中國企業對於先進製造裝置存有大量需求,並且相關企業也願意拿出部分資金來採購進口的製造裝置。如果美國不允許中國購買國外的產品,那麼中國企業手中的採購資金自然而然的流向本土企業手中,繼而推動本土企業去開發自主裝置。中國投入大量資源去開發自主可控的晶片技術,其本質上是一種被迫的發展模式。國際合作本是雙贏的局面,但美國推動的小院高牆政策單方面切斷了這種雙贏的合作模式,導致中國企業走向自立自強的產業模式。中國並不侷限於自立自強,而是在實現關鍵技術自主可控的前提下,繼續擁抱全球化格局,將中國技術融入到全球創新網路中。 (逍遙漠)
路透社:中國工廠制定未來目標,自研裝置的使用率超過50%,用國產裝置替代進口裝置,降低卡脖子風險
01前沿導讀據路透社報導稱,中國企業正在加快自主裝置的應用環節,多個中國晶片製造商在增加新的半導體製造產能時,都會有至少50%的製造裝置來自於本土供應商。此舉意在提升中國自研裝置的大規模應用,用國產裝置來替換掉曾經採購的進口裝置,將自主晶片的外部風險降到最低。02國產化據機構分析,中國企業大批次使用國產製造裝置這件事有兩點需要注意的問題,第一個問題是相關部門需要對特定的晶圓廠給予政策上面的允許,另一個問題是晶圓廠需要提交採購裝置的資訊,以此來證明裝置的支出至少有一半用於中國供應商。該行動是中國自主產業鏈的關鍵一環,50%只是一個基準線,其最終的目標是實現100%的國產化產業鏈,最大限度保護自主技術的安全性,從根源上杜絕被卡脖子的問題。美國持續多次對荷蘭施壓,先封鎖了EUV光刻機對華出口,隨後又封鎖了先進浸潤式光刻機的對華出口,導致中國企業在光刻機領域與國際產業鏈出現脫節的情況,只被允許從ASML購買十多年前的老舊成熟裝置。國產光刻機也在持續推進當中,已經完成了65nm解析度乾式光刻機的整機應用,目前正在推進浸潤式和EUV。儘管國產光刻機取得了一些成果,但現階段還無法與ASML的裝置相比,也無法大規模投入到生產線上替代ASML的裝置。在28nm及以上的成熟製程生產線中,100%的國產化製造是有望在近幾年實現的,但是在具有Fin FET電晶體結構的先進生產線中,如今還是以ASML的進口裝置為主,國產裝置無法填補這個缺口。據環球網引述日經亞洲發佈的新聞表示,儘管中國本土企業在多個前沿領域取得顯著進展,開發出了足以替代進口品牌的刻蝕、檢測、沉積、化學拋光等重要的本土製造工具,但中國企業仍面臨著一個難以踰越的技術障礙——光刻。光刻機不但複雜,而且造價昂貴,此前只有荷蘭ASML、日本的佳能、尼康等三家公司製造。對於中國企業來說,完成國產光刻機的開發,並且將其應用到國產晶片的製造環節,這是中國科技自立自強道路上必須要解決的問題。研發動力是中國晶片產業走向成功的關鍵因素,諷刺的是,美國對中國企業連讀多年的制裁壓制,為中國企業提供了從未有過的強大動力。幾乎所有的中國企業都在儘可能使用本土企業製造的裝置,那怕是曾經高度依賴進口裝置的中國企業,也將國產裝置納入供應鏈體系。部分中國製造商採用國產裝置後,因性能以及穩定性等因素導致產能下降,但是這並未阻止他們繼續使用國產裝置。通過汲取多次的失敗經驗來最佳化裝置,ASML此前已經證明了這是一條有效的方法。03產業規模據新華財經發佈的新聞指出,北方華創在2024年全球半導體裝置廠商規模榜單中排名第六,其全年營收同比增長35.1%,達到了298億元。在前五名當中,ASML優勢巨大排名第一,日本東京電子排名第四,剩下三個席位均由美國企業所佔據。北方華創雖全球排名第六,但是其市場經濟規模距離第五名的美國科磊有明顯差距。在絕對的產品技術與市場規模層面,國產廠商已經達到了國際主流水平,下一步就是要對行業巨頭髮起挑戰。而美國的出口管制以及國內的產業扶持政策,都在更加利多北方華創等本土裝置製造商。美國不允許中國企業購買進口裝置,那麼採購裝置這個環節就出現了空檔期,本土製造商自然而然就成為了相關企業的首選目標。據路透社報導指出,中國本土製造商在2025年全年訂購了400件以上的國產光刻機以及相關元件,總金額約為1.2億美元。在這400多件的訂單當中,包括了整機以及相關備用件,並沒有直接給出整機的數量。據ASML財報顯示,ASML用於成熟晶片製造的ArF乾式光刻機平均成本為2790萬美元,落後一點的KrF光刻機為1446萬美元,而先進的浸潤式光刻機的造價高達8250萬美元。按照ASML裝置的標準進行估算,中國製造商訂購裝置所花費的1.2億美元,大約相當於8台ASML的KrF光刻機。由此可以得出,中國企業採購的國產裝置基本都是面向於成熟晶片節點。先保證成熟晶片的自主可控,然後依靠成熟晶片所帶來的規模化經濟效益,帶動產業鏈進行先進裝置的自主研發,實現同步發展。 (逍遙漠)
中國媒體炮轟路透社:惡意拼湊資訊來捧殺中國光刻機,暗示中國裝置採用違規方法獲取技術
01前沿導讀路透社在12月17日刊登了一篇專欄報告,該報告指出中國科學家已經在深圳的實驗室內完成了EUV光刻機的原型機製造。並且該原型機由前ASML工程師參與其中,通過逆向工程的方法完成了EUV的整機製造,預計2030年有望實現用國產EUV製造原型晶片。該內容在國際層面引起了巨大轟動,同時也引起了中國媒體的聲討。上海觀察者網認為,該報告動用了西方媒體慣用的伎倆:內容並非完全虛假,但也不完全真實。西方媒體的手段是將一些資訊拼湊性的連接在一起,從而主動引導你得出相關結論。所以,我們需要對路透社的專欄報告提起高度警覺,其警覺的地方並不在於該媒體說了什麼,而是在於該媒體是怎麼說的。02資訊拼湊我們提取一些關鍵詞:中國國產EUV光刻機、前ASML工程師、逆向工程,然後我們對這些關鍵詞進行分析。前ASML工程師這個資訊是真實發生的事情,該工程師名叫林楠,2015年至2021年在荷蘭ASML研究部擔任研發科學家。2021年至2025年9月,林楠在上海光機所擔任雷射科學與技術實驗室副主任。10月份,林楠離開上海光機所,在北京航空航天大學擔任積體電路科學與工程學院教授。林楠博士曾經與荷蘭半導體觀察者、《新鹿特丹商報》記者馬克·海金克一起接受了觀察者網旗下心智對話欄目的專訪。在訪談當中,主持人對二人發起提問:其他企業是否可以效仿ASML的成功經驗,複製出一套全新的光刻機體系?馬克·海金克對此表示即便你瞭解了光刻原理,並且擁有了製造圖紙、製造材料、所需零部件,你也很難將其製造出來,況且也沒有圖紙給你看。你必須要保證每個零部件之間相互有效的整合運行,這涉及到大量的工程問題和技術經驗。我們並不是說複製ASML光刻機這條路徑是完全不可能的,但你想要製造出水平不錯並且可以商用的裝置,需要花費很長時間。林楠博士也進行分析稱,對於技術人員來說,如果有選擇的情況下,技術人員不願意再做重複的事情,但問題是在於你有沒有能選擇的條件。單純的技術複製並不是什麼挑戰,很多時候是在浪費工程師的時間。前人已經把很多事情都做了,你重複去做是沒有意義的。如果你想做,那就應該用不同的方式去做。林楠博士的態度很明白,雖然跟隨國外的技術方向發展技術是一條清晰的路徑,但這種方法終歸是別人主導的。想要實現真正的技術跨越,必須要從基礎開始一點點積累經驗,持續深入研究相關的產業技術,只有自己搞懂的整個流程,才能最大限度實現光刻機的自主可控。林楠博士的說法,與路透社發佈的專欄報告存在明顯出入。下面我們來談談逆向工程的問題。03逆向工程在半導體產業的發展史上,確實發生過對光刻機進行逆向工程,然後製造出另一台光刻機的例子,不過這個事情建立在特定的歷史條件下。時間回溯到20世紀80年代,彼時的光刻機霸主是美國的GCA公司(地球物理公司),其次是美國的珀金埃爾默、日本的尼康、佳能再加上荷蘭的ASML。此刻的ASML並沒有太大的名氣,也沒有什麼拿得出手的產品,光刻機的產業競爭變成了美日兩國企業的競爭。日本通產省牽頭,推出了超大規模積體電路計畫(VLSI)。尼康、佳能、東芝、電氣株式會社(NEC)均是該計畫的扶持企業。由於尼康本身就是傳統光學技術起家,所以直接承擔了日本光刻機的研發項目。日本NEC是美國GCA公司的客戶之一,GCA的服務經理肯·皮恩在這個時期接到了日本NEC的求助,NEC購買的光刻機出現當機的情況,要求皮恩進行技術分析。皮恩帶領工程師來到了日本NEC公司,在進行技術修復的過程中,皮恩發現光刻機存在被私拆的痕跡。皮恩私下調查發現,NEC公司允許尼康對購買來的美國光刻機進行拆解,但是尼康對其拆解之後重新組裝的過程中出現問題,導致光刻機當機,這才求助於美國GCA。1981年,尼康發佈了NSR-1010G步進式光刻機。經客戶反饋,該光刻機與美國GCA的光刻機在架構、晶圓台、對準系統等多個技術領域一模一樣,整個產業都將尼康的NSR-1010G光刻機認定為美國光刻機的複製品,但是美國GCA管理層對此卻毫不在意。甚至有美國客戶將尼康抄襲美國技術的檔案傳送給GCA,GCA也對此嗤之以鼻,並表示日本企業就算抄襲了美國技術,那麼他們也只能學到皮毛,製造出來的產品根本比不過美國。尼康能賣出貨去,完全是因為日本政府要求企業支援國產裝置,所以尼康的光刻機被內部消化了。但是隨著技術的發展,日本企業佔據上風,ASML也憑藉著PAS系列光刻機打開市場,美國的光刻機產業開始走下坡路。珀金埃爾默被財團收購放棄光刻機業務,GCA則是被矽谷集團收購。2001年,ASML全資收購了美國矽谷集團,將美國光刻機產業納入麾下。逆向工程對於早期的簡單裝置來說是可行的方案,但是隨著產業發展,EUV光刻機進入高精度和自動化,其整機零件達到了幾十萬個,牽扯到全球5000多家頂級供應鏈,涉及到的軟體體系超過億行程式碼。最為重要的,還是來自於ASML的技術專利。ASML與蔡司統治了EUV光刻機超1500項以上的技術專利,這些專利成為了後來者難以踰越的城牆。並且EUV光刻機覆蓋了光學、化學、電學、機械、材料、控制、軟體等多個基礎工程,機器製造完成只是個開始,其真正的難點是將裝置市場化,然後保證穩定性和高效率,從而源源不斷地製造晶片進行盈利。由此可見,路透社的內容在關鍵資訊上面大部分是真實的,但是將這些內容整合到一起,就形成了一種較為空心化的結論,存在過度解讀的情況。對於一些經常關注中國晶片產業的觀眾來說,路透社的內容好像很有道理,但是對於整個中國晶片產業來說,路透社的內容又存在多種不合理的說法。尤其是路透社將逆向EUV這種方法強加給中國團隊,暗示中國團隊採用該技術製造國產光刻機,讓中國企業陷入一種被動的輿論境地。 (逍遙漠)