#封裝技術
從CoWoS到CoPoS:先進封裝技術的物理極限挑戰與玻璃基板革命
5月27-29日,無錫國際會議中心,“重構玻璃基板技術路線”iTGV2026國際玻璃通孔技術創新與應用論壇盛大啟動。作為提前場免費論壇——CoPoS技術峰會在5月27日為您呈現玻璃基板與面板級封裝的可落地的融合方案。 從CoWoS到CoPoS:先進封裝技術的物理極限挑戰與玻璃基板革命 在半導體產業的漫長征途上,封裝技術從來不是配角,而是決定AI、HPC與下一代運算效能的關鍵戰場。TSMC的CoWoS(Chip on Wafer on Substrate)技術,曾以矽中介層(Silicon Interposer)實現高密度2.5D異質整合,成功支撐NVIDIA H100、H200乃至Blackwell系列GPU的爆發式成長,讓數千億電晶體在單一封裝內高速互聯。然而,隨著AI晶片規模持續擴大,圓形晶圓的reticle尺寸限制(目前約3.3X至9.5X)已成為物理瓶頸。CoPoS(Chip on Panel on Substrate)應運而生,它將圓形矽中介層轉換為方形玻璃面板(Panel),尺寸可達310×310mm甚至更大,實現更高產能、更低成本與更高密度的3D IC整合。 這一轉變看似順理成章,卻在材料與製程層面遭遇兩大致命挑戰:材料熱脹冷縮導致的“翹曲”(Warpage)與膠體固化縮水造成的“晶片偏移”(Die Shift)。本文將深入剖析這兩大問題的成因、影響,以及產業如何通過玻璃核心基板、TGV(Through Glass Via)塞滿銅導通技術、Buffer Layer緩衝層與Nikon數位投影曝光機等創新解法,完成從CoWoS到CoPoS的華麗轉身。這些突破不僅是工程細節的堆疊,更是人類對物理極限的頑強徵服。
台積電要小心? 傳英特爾先進封裝良率衝到90%了
台積電先進封裝CoWoS 產能供不應求,英特爾提供的 EMIB封裝技術正受到關注。 外媒指出,英特爾的關鍵EMIB技術實現驚人的良率,良率達90%,顯示其已準備好在即將到來的AI資料中心晶片中得到應用。科技媒體《Wccftech》報導,英特爾EMIB封裝技術被視為台積電CoWoS的替代方案。 英特爾的先進封裝技術將被Google用於其下一代TPU晶片,輝達也將其用於其下一代Feynman晶片。 GF證券科技研究部的分析師Jeff Pu分享他對EMIB項目進展的一些見解,初步印象非常好。Jeff Pu透露,英特爾的EMIB良率已達到90%,這對該公司的晶圓代工業務來說無疑是個好消息,也解釋了為何目前外界對英特爾晶圓代工充滿信心。 Meta也是EMIB的客戶之一,不過雙方的合作計畫是圍繞著2028年底推出的CPU展開,還需要一段時間才能獲得更多相關資訊。同時,英特爾並未停止宣傳其EMIB技術的優勢,強調EMIB的許多優點,包括:提高良率、降低功耗、降低成本,以及使更大規模的「混合節點」系統成為現實。報導說,目前EMIB技術主要有兩種:EMIB-M和EMIB-T。 EMIB-M橋接電路的設計旨在提高效率,其矽橋接電路中採用MIM電容,通過最大程度地降低噪聲來增強功率傳輸和電路完整性。 雖然MIM電容的成本略高於金屬-氧化物-金屬(MOM)電容,但它具有更高的穩定性和更低的漏電。 (大話晶片)