如今,High-NA EUV已經跨過技術驗證門檻,但三大晶圓廠對它的態度出現明顯分化:英特爾搶跑、台積電算帳、三星踩剎車。照目前來看,三家路線不是誰先進,而是誰更需要High-NA。
英特爾:一場不能輸的製程證明
2026年7月,ASML宣佈,英特爾已經在部分Panther Lake產品的特定Intel 18A工藝層中使用EXE系列High-NA EUV裝置,並進入高產量製造。相關High-NA工藝層已經達到與傳統NXE低NA EUV平台相當的良率。
但並不是整個Intel 18A工藝都使用High-NA;也不是所有Panther Lake產品都使用High-NA,而是部分產品、部分關鍵層。也就是說,英特爾不是用High-NA全面替代Low-NA,而是在真實量產環境中驗證曝光、套刻、裝置利用率、良率和維護資料。